蒸发镀膜机温度分布测试.docVIP

蒸发镀膜机温度分布测试 一、测试前准备工作： 1.确认测试线完好，有无损伤； 2.与电气工程师确认加热丝加热正常； 3.确认机台热电偶安装是否到位； （一般情况下，Dome热电偶安装在腔体顶部， GENER机竖直伸出大约20mm，OTFC机伸出后，尾部沿Dome回转方向弯折，弯折后，尾部需有6mm为平直，不能有弯折；Monitor热电偶安装在中心回转底部，伸出约5mm；Wall热电偶安装在门内，平直伸出约10mm。热电偶均有陶瓷保护，与腔体不接触） 4.依据式样书内容进行外部接线； 在电控柜内有三处接线点，与测试线Dome、Monitor、Wall分别相对应： Dome←→TC1，Monitor←→TC2，Wall←→TC6. （一般情况下，GENER机接线处在电控柜内，OTFC机在腔体后边，主阀上边的电控箱内,OTFG机在主阀侧边上方的电控箱内） 5.依据式样书要求，安装合适的Dome； （一般情况下，有一体式、四分割、五分割、九分割等几种Dome，安装时要用酒精、杜邦纸、百洁布对Dome进行清洁） 6.依据式样书要求进行腔体内部接线； （依据客户要求，一般情况下，OTFC系列需要16个点，均匀选取4列，每列均匀选取4个点；GENER系列一般只要4个点，选取1列，均匀选取4个点，特殊的也要16个点；Dome上剩余的孔要用拍皱的铝箔纸贴好，铝箔纸反面与加热丝相对应，接线要用高温胶带贴牢，使每根热电偶线都与测试基片紧密的接触，尽量减少测量误差） 7.关门，真空排气，连接电脑、测试仪，打开测试软件，待真空度到达（E-3Pa）时，进行数据测试。 二、数据测试： 1.设定PID参数：所谓PID就是指比例动作（Proportional，简称Ｐ)，积分动作（Integral,简称Ｉ），微分动作（Derivative,简称Ｄ）。 比例动作（P）也可以说明是一种比例带参数，其范围可以是0％－－999.9％。Ｐ设定的越大，响应的速度就越慢。 （比例作用大，可以加快调节，减少误差，但是过大的比例，使系统的稳定性下降，甚至造成系统的不稳定。） 积分动作（I）是通过积分消除偏差的动作，积分动作的强度一般用积分时间（Ｔi）表示的，Ｉ越大，升温越慢，Ｉ越小，升温越快。 （积分作用的强弱取决与积分时间常数Ti，Ti越小，积分作用就越强。反之Ti大则积分作用弱，加入积分调节可使系统稳定性下降，动态响应变慢。） 当外部干扰发生时，比例＋积分动作会受到很大的影响，发生波动，这时就要通过微分动作（Ｄ）来消除外部的干扰。 所谓微分动作（D）就是把与受干扰的温度变化速度成比例输出加到比例动作输出上，Ｄ并不是越大越好，Ｄ越大响应速度就越快，但对波动的影响就越小，反之Ｄ越小响应速度就越慢，但对波动的影响就越大。 P放大时，系统动作灵敏，速度快，稳态误差小，但P太大时，幅值震荡的幅度大，震荡频率小，震荡次数增加，系统达到稳定时间变长。如果P太小，会反复震荡，永远也达不到设定要求。 I是解决动作响应的速度快慢的，可消除系统稳态误差，I变大时响应速度变慢，反之则快；D是消除静态误差的，提高系统动态特性，（减少超调量和反应时间），一般D设置都比较小，而且对系统影响比较小。一般积分时间较大，微分时间约是积分时间的1/6~~1/4左右。 2.待真空度到达（E-3Pa）时，打开软件，开始测试。 （在设定开关中将Dome Heart、Monitor Heart、Wall Heart设定为手动加热，电控柜内加热丝空气开关位于ON状态，Dome空开位于OFF状态，防止不小心碰到Dome旋转开关，使Dome旋转把测试线扯断） 3.待加热输出功率到达100%时，设定加热丝电压。 电压设定：分为自动式与手动式。 自动式是通过调节电压的百分比（勾配）来调节电压大小，其最大额定电压为200V，但一般不会超过其55%（如Dome、Wall）；但Monitor电压一般不会超过其10%。 手动式就是通过电压表来调节电压，主要是通过转动电力调整器上DAMP键来改变电压的大小的。 4.待测试完成，观察测试结果与式样书要求是否一致： （一般情况下，Dome Heart、Monitor Heart：300℃±10℃ Wall Heart：150℃±10℃；200℃±10℃） 若一致，则测试完成，若不一致，通过调节电压、PID等参数，继续测试，直至符合式样书要求。