2013年单晶部培训.pptxVIP

直拉单晶知识;主要内容;太阳能电池产业链;美国加州1.6MW-Google总部;内华达州14MW;1. 生长原理;示意图;2. 单晶炉及热系统简介;直拉单晶炉;单晶炉各部分构成;主要的单晶炉供应商;阳光设备;3. 主要耗材;热系统组成;东洋炭素常用石墨材质参数;东海石墨相关参数;多晶料;多晶硅—半导体行业的基础材料;选料配料;电阻率与杂质浓度的关系;合金量计算公式;超声+清洗液;拉晶车间工艺流程;主要工艺参数;单晶生长能量关系;晶体生长的界面;晶体生长过程中界面的调整;拉速对晶体质量的影响;石英坩埚对拉晶的影响;常规石英坩埚的尺寸（GE标准）;石英坩埚的特性;石英坩埚的析晶;析晶对拉晶的影响;防止减少析晶的方法;硅中的氧;硅中氧的引入;氧施主退火消除原理;头部电阻率易高甚至反型的原因;氧施主的消除;MCZ磁场拉晶;磁场对硅熔体的抑制作用;硅中的碳;4. 质量参数;P/N型;N型半导体;P型半导体;PN结—半导体器件的基本单元;检测设备;晶向;100晶向;111晶向;晶向测量方式;电阻率;非平衡少数载流子寿命;少子寿命测量的样品制备;谢谢