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中南大学机电工程学院 第二章 常用传感器 2.3 电感式传感器 电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量（如位移）转化为电感量变化的一种装置。 分类: 电感式传感器 自感型 可变磁阻型 涡流式 互感型 2.3 电感式传感器 1 自感型--可变磁阻式 原理:铁芯线圈电路中，线圈自感量L为 i 磁通量 磁通势=电流*线圈匝数 磁路磁阻 所以 又由于， 空气磁导率 空气隙导磁横截面 气隙长度 2.3 电感式传感器 可变磁阻式 a)可变导磁面积型 b）差动型 c）单螺管线圈型 d）双螺管线圈差动 当导磁截面不变，L与δ成非线性关系，此时灵敏度 δ越小，灵敏度越高。为减小线性误差，常规定在较小间隙范围内工作。适用于较小位移的测量，一般约为0.001~1mm. 2.3 电感式传感器 双螺管线圈差动型传感器及测量电路 ~ 交流电桥 2.3 电感式传感器 2 涡流式 原理:金属体在可变磁场中的涡流效应 原线圈的等效阻抗Z变化： 2.3 电感式传感器 优点：结构简单，使用方便，不受油污、介质影响。 应用：位移、振动的测量，测厚，材质判别 案例： 连续油管的椭圆度测量 Coiled Tube Eddy Sensor Reference Circle 原理： 2.3 电感式传感器 案例： 无损探伤 原理 裂纹检测，缺陷造成涡流变化。 火车轮检测 油管检测 2.3 电感式传感器 案例： 测厚 案例： 零件计数 2.3 电感式传感器 2 互感型--差动变压器 工作原理:互感现象. 当线圈W1输入交流电流时，线圈2产生感应电动势，其大小与电流i1的变化率成正比 M，比例系数，称为互感（H），其大小与两线圈相对位置及周围介质的导磁能力等因素有关，它表明两线圈之间的耦合程度。 其实质是一个变压器，当初级线圈接入稳定交流电，被测参数使互感M变化时，次级输出电压随着变化。由于常采用两个次级线圈组成差动式，故又称为差动变压器式传感器。 2.3 电感式传感器 螺线管形差动变压器 W W1 W2 2.3 电感式传感器 测量电路 2.3 电感式传感器 应用: 厚度,角度,表面粗糙度;拉伸,压缩,垂直度; 压力,流量,液位;张力,重力,负荷量;扭矩, 应力,动力;气压,温度;振动,速度,加速度;等. 案例：板的厚度测量 ~ 案例：张力测量 第二章 常用传感器 2.4 电容式传感器 1.变换原理: 将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + ? A ? 当被测量δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为电容量的变化。（实质上是一个具有可变参数的电容器） 真空中介电常数 介质的相对介电常数 2 分类 2.4 电容式传感器 a) 极距变化型; + + + 传感器灵敏度 与极距平方成反比，即传感器灵敏度随极距而变化，这将带来线性误差。因此，通常规定在较小的间隙变化范围内工作， 以便获得近似线性关系。一般取极距变化范围 约为0.1 极距变化型电容传感器的优点是可进行动态非接触式测量，对被测系统的影响小；灵敏度高，适用于较小位移（0。01微米至数百微米）的测量。缺点是有线性误差，传感器的杂散电容也对灵敏度和测量精度有影响，与传感器配合使用的电子线路也比较复杂。由于这些缺点，其使用范围受到限制。 2.4 电容式传感器 b)面积变化型:角位移型,平面线位移型,柱面线位移型. + + + + + + 如右图，两极板的覆盖面积 所以电容量 灵敏度 为常数 输入与输出成线性关系这是它的优点，但与极距变化型相比，灵敏度低，适用于较大位移的测量 2.4 电容式传感器 c) 介质变化型 这是一种利用介质介电常数的变化将被测量转换为电量的传感器。可用来测量电介质的液位或某些材料的厚度等，也可用来测量空气的湿度。 测纸张、电影胶片等的通过 垂直放入液体中，可测量浸入的液面高度 3 测量电路 2.4 电容式传感器 a) 电桥电路 b) 谐振电路 将电容传感器作为电桥的一部分，由电容变化转换为电桥的电压输出。通常采用电阻、电容或电感组成的交流电桥 当传感器电容发生变化时，谐振回路的阻抗发生相应变化，并被转换成电压或电流输出，经放大、检波可得到输出 2.4 电容式传感器 c) 调频电路 d) 运算放大器电路 传感器电容是振荡器谐振回路的一部分，当电容变化时，振荡器的频率发生变化，经过鉴频可变为电压的变化。这种电路具有抗干扰性强、灵敏度高 等优点，可测0.01微米的位移。但缺点是电缆 电容的影响较大，使用中有些麻烦。 极距变化型电容传感器的极距变化与电容变化量成非线性关系，这一缺点使电容传