cu zn离子注入sio2和si引起的结构及光学性质变化分析word格式论文.docxVIP

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2018-05-18 发布于上海
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cu zn离子注入sio2和si引起的结构及光学性质变化分析word格式论文

fluence of 1.0×1017 ions/cm2. Surface nanostructures on Zn ion implanted crystalline Si and their thermal evolution after annealing at different atmospheres were investigated. The results indicate that the growth of Zn NPs was faster annealing at nitrogen ambient than oxygen ambient. The homelike nanostructures were detected after annealing at nitrogen ambient together with subsequent 600 °C annealing in oxygen ambient. However, the surface structures liking winding patterns were formed after 800 °C annealing in oxygen ambient due to the formation of Zn2SiO4.Keywords ： Ion implantation, Cu nanoparticles, Surface plasmon resonance, Crystalline Si, Optical propertiesIII目录第一章绪论................................................................................................................... 11.1 研究背景........................................................................................................... 11.1.1 纳米材料的基本效应及其特殊性能....................................................... 21.1.2 纳米颗粒的制备....................................................................................... 51.1.3 离子注入技术及其原理........................................................................... 61.2 离子注入合成金属纳米颗粒研究现状......................................................... 101.3 金属纳米颗粒的表面等离子体共振的研究................................................. 121.3.1 金属纳米颗粒的表面等离子体共振(SPR)效应 121.3.2 金属纳米颗粒的表面等离子体共振的理论研究................................. 131.4 金属纳米颗粒的改性研究.............................................................................. 181.4.1 离子束辐照对金属纳米颗粒的改性研究............................................. 181.4.2 双金属离子注入对金属纳米颗粒的改性研究..................................... 191.5 本论文的选题意义和主要研究内容.............................................................. 20第二章样品的制备与测试方法................................................................................. 212.1 基底材料的种类和参数................................................................................. 212.2 样品的离子注入条件选择........................