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超精密激光三维测量技术的研究现状及发展趋势 秦令剑 机械工程学院摘要 三坐标测量机以其精度高、柔性强等特点在现代化的生产和先进制造、航空航天和国防等领域中起着越来越重要的作用。随着科学技术的进步和国家对工业发展、精密加工技术重视，特别是未来精密加工以及测量装备的发展，其中的一些关键精密零部件的结构越来越复杂、精度越来越高，对三坐标测量机的测量精度的要求也越来越高。本论文旨在介绍超精密激光三维测量技术的研究现状以及其未来的发展趋势。 关键词：超精密；激光三维测量；三坐标测量机； 引言 三坐标测量机以其精度高、柔性强等特点在现代化的生产制造和航空航天等领域中起着越来越重要的作用。它不仅能够完成各种零件的几何元素、曲线和曲面的测量，而且还可以和其它加工设备，如加工中心、数控机床等设备，联机组成集成系统，实现设计、制造和检测的一体化。随着科学技术的进步和国家对工业装备的重视，对三坐标测量机技术研究的要求也越来越高。目前，世界各国都对进一步提高三坐标测量机的研究技术予以高度关注。 1. 三坐标测量机的工作原理 坐标测量机是通过运转探测系统测量工件表面空间坐标的测量系统。将被测物体置于三坐标测量空间，可获得被测物体上个测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值,计算出被测物体的几何尺寸，形状和位置。 基本原理就是通过探测传感器（探头）与测量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进行离散的空间点位置的获取，通过一定的数学计算，完成对所的点（点群）的分析拟合，最终还原出被测的几何元素，并在此基础上计算其与理论值（名义值）之间的偏差，从而完成对被测零件的检验工作。激光三坐标测量机的组成如图1所示。 图1 克斯康推出Leica新一代激光跟踪测量仪LTD700/800 2. 三坐标测量机的国内外研究现状 目前，国外著名的三坐标测量机生产厂家主要有德国的Zeiss和Leitz公司、意大利的Coord3公司、美国的BrownSharpe公司、英国的IMS公司、日本的Mitutoyo等公司。最近，英国IMS公司推出了一种低成本的手动式三坐标测量机IMP，可进行接触和非接触测量（图2所示）。在设计上，这种坐标测量机采用了低重心及升降Y轴的铝材“半桥式”结构。同传统的坐标测量机相比，这种结构减轻了运动质量，降低了操作人员的动劳程度。图3为德国Zeiss公司开发出的Eclipse 550小型CNC坐标测量机，它是专门为车间测量而设计的，其测量范围为508mm×508mm×508mm，测量不确定度为5.6，最大测量速度为432mm/s。由于采用了热不灵敏的陶瓷技术，使得测量机的测量精度在17.8~25.6℃的范围内基本可不受温度影响。图4为美国BrownSharpe公司新近开发出一种扫描测量机——Chameleon CMM，它以非常快的速度在单点和多点数据采集模式间进行转换。此外，该测量机所配备的Quindos软件，可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴测量模块在内的50多种应用测量模块。另外，在超精测量和定位技术方面，德国SIOS公司开发了一种纳米定位与纳米测量系统NMM（Nano Positioning andNano Measuring Machine）（图5所示）。该系统采用激光干涉仪进行位置测量，测量范围为25mm×25mm×5mm，分辨率为0.1nm，驱动方式采用电磁驱动，使用的测头可以由用户选定，如扫描隧道显微镜STM（Scanning Tunneling Microscope）探头、原子力显微镜AFM（Atomic Force Microscope）探头、自聚焦光学探头、电容探头或电感探头等等。 图 2 英国IMS公司手动式CMM－IMP 图3 德国Zeiss公司的小型CMM Eclipse 550 图 4美国BS公司的扫描测量机 图 5 德国SIOS公司的纳米定位与测量NMM Chameleon CMM 我国坐标测量机的发展具有很好的前景和巨大的市场潜力。自1982年以后的十年间分别从意大利、德国、美国等国家相继引进了先进的生产制造技术。到1990年初，基本形成了以航空部303所、青岛前哨机械厂和上海机床厂为代表的三个生产基地，年产量约有60台。在这期间，由于我国机械行业把主要精力放在加工设备的更新换代上，对计量设备的需求并不迫切，所以许多国外坐标测量机公司也不把中国作为一个重要的市场。经过近20年的科技攻关和技术引进已经为坐标测量机的产业化奠定了良好的基础。同时，国家对质量工作加以重视，以及随着三资企业和数控设备的猛增，使得我国坐标测量机的市场需求空前高涨，生产厂家的效益也达到了高峰。这样，各生产厂家在技术进步和市场需求的双重压力下加快了我国坐标