基于双目视觉的微工作台位姿测量方法分析-analysis of micro - worktable pose measurement method based on binocular vision.docxVIP

第1章绪论1.1 课题研究背景随着人类社会向信息化的逐步迈进，信息系统的微型化、智能化和多功能化已经成为人们不断追求的目标。微机械（MicroElectroMechanicalSystem，简称MEMS）是一种集成系统，从广义上包括微型机械（1μm～1mm）和纳米机械（1nm～1μm），但并不是单纯的结构或尺寸的微小化，而是指采用微机械加工技术可以成批量制作的微型器件和微型系统[1]，这种系统是集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的。MEMS 作为微/纳米技术研究的一个重要方向，被认为是微电子技术的又一次革命，在装置设计、仿真和材料性能表征等方面至关重要[2]。它具有以下一些特点：体积微小、多样化、集成化、尺度效应现象、批量生产和广义化[3]。目前，微机械技术正处于蓬勃发展的时期，已成功应用于生物医疗和医学方面、航空航天方面、微机器人方面、以及农业、工业、家庭服务等各方面[4]。随着各种工业产品的微型化进展以及微机电系统日益广泛的应用，数控机床的微型化也开始提到日程上来了[5]。而工作台作为加工机床的关键部件之一，对于提高产品的加工质量起着尤为重要的作用。在数控机床、精密仪器和仪表、航空机械等各种精密机械设备中，工作台是实现高精密加工的核心部件，其定位精度直接影响系统的加工精度。实践证明，提高加工质量的最佳方法就是及时的对加工过程中的几何量、