材料现代研究方法(电子显微镜)教学 讲义.pptVIP

目前亮度最高的电子枪是场发射电子枪（FEG：field emission gun），其结构原理如图1.6所示。在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变小，由于隧穿效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称为场发射。 场致发射电子枪结构原理图 照明系统 二、聚光镜 人们把静电场做成的透镜称为“静电透镜”（如电子枪中三极静电透镜），用电磁场做成的透镜称为“电磁透镜”。透射电子显微镜的聚光镜、物镜、中间镜和投影镜均是“电磁透镜”。 典型的磁透镜剖面图 照明系统 1.2 构造及其特性 多功能样品室 多功能样品室的主要作用是通过样品室承载样品台，并能使样品平移，以选择感兴趣的样品视域，再借助双倾样品台可使样品位于所需的晶体学位向进行观察。样品室内还可分别装有加热、冷却或拉伸等各种功能的侧插式样品座，以满足相变、形变等过程的动态观察。样品台及其双倾旋转方向示意如图1.10。加热和冷却侧插式样品架外观如图1.11所示。 1.2.2 多功能样品室 图1.10 样品台及其双倾旋转方向 图1.11 加热和冷却侧插式样品架外观 透射电子显微镜 —— 镜筒 成像系统 物镜、中间镜和投影镜构成三级成像系统。最终像的放大倍数是这三个透镜的放大倍数的乘积，即： 成像系统 成像系统是由物镜、中间镜 和投影镜组成。物镜是成像系统的第一级透镜，它的分辨本领决定了透射电子显微镜的分辨率。中间镜和投影镜是将来自物镜给出的样品形貌像或衍射花样进行分级放大。通过成像系统透镜的不同组合可使透射电子显微镜从50倍左右的低倍到一百万倍以上的高倍的放大倍率内变化。 物镜极靴剖面图 透射电子显微镜 —— 镜筒 成像系统 物镜是最主要的部件。改变物镜电流的过程就是聚焦过程。 物镜后焦面处放有物镜光栏，其作用是挡住散射电子，提高电镜的分辨率和衬度。 物镜下部装消像散器，用以消除像散，提高电镜分辨率。 透射电子显微镜 —— 镜筒 成像系统 中间镜是一个弱透镜。变化中间镜电流，可获得不同的放大倍数。可更换投影镜极靴，再改变中间镜电流，以达到所需的放大倍数。 改变中间镜电流还可得到电子衍射图像。 透射电子显微镜 —— 镜筒 像的观察和记录系统 投影镜下面是观察室，内有荧光屏，在电子束的轰击下产生荧光。操作者通过镜筒上的窗口可观察到荧光屏上的电子图像。 构造及其特性 图像观察与记录系统 该系统由荧光屏、照相机和数据显示器等组成。投影镜给出的最终像显示在荧光屏上，通过观察窗，我们能观察到荧光屏上呈现的电子显微像和电子衍射花样。通常，观察窗外备有10倍的双目光学显微镜，其用于对图像和衍射花样的聚焦。对观察到的图像和衍射花样需要记录时，将荧光屏竖起后，它们就被记录在荧光屏下方的照相底片上。 图像观察与记录系统 一、慢扫描CCD摄像机 用视频摄像机记录透射电子显微像和使图像再生的方法可以方便地用于动态观察和快速记录图像以避免振动或热漂移对图像的影响，尤其在加热动态观察中，快速记录图像可极大节省稳定热漂移所需的时间。电子显微镜中通常使用慢扫描电荷耦合器件（CCD：charge-coupled device）摄像机，其结构示于图1.13。 图1.13 慢扫描CCD剖面图 1.2 构造及其特性 1.2.5 真空和供电系统 真空系统是为了保证电子的稳定发射和在镜筒内整个狭长的通道中不与空气分子碰撞而改变电子原有的轨迹，同时为了保证高压稳定度和防止样品污染，不同的电子枪要求有不同的真空度。 供电系统主要提供稳定的加速电压和电磁透镜电流。为了有效地减少色差，一般要求加速电压稳定在每分钟为10-6；物镜是决定显微镜分辨本领的关键，对物镜电流稳定度要求更高，一般为(1～2)×10-6/min，对中间镜和投影镜电流稳定度要求可比物镜低，约为5×10-6/min。 理论分辨本领极限 分辨本领是透镜最重要的性能指标，它是由像差和衍射误差的综合影响所决定的。对于光学玻璃透镜来说，在最佳情况下，分辨本领可达到照明波长的一半，即半波长。电子束的波长比可见光的波长约小五个数量级，如果能使电磁透镜像差（特别是球差）远小于衍射误差，那么电磁透镜的极限分辨本领也能达到照明电子束的半波长约0.002 nm。实际上，目前电子显微镜的分辨本领是0.2 nm左右，与其极限值还差100倍，这是什么原因呢？ 理论分辨本领极限 电磁透镜的分辨本领受到透镜像差的影响。由于在像差中，像散可由消像散器加以足够的补偿，照明电子束波长和透镜电流的波动所引起的色差已由供电系统的稳定性所解决，但电磁透镜中的球差至今无法通过某种方法得到有效的补偿