光学表面面形精度标准.ppt

7.球面样板检测面形精度 检测局部偏差 球面样板覆盖被检表面直径的3/5~2/3，分别在被检表面中心和边缘加压稍拉直条纹检测中心和边缘的局部偏差。 8.球面干涉仪检测面形精度 检测光圈数和象散偏差 先将镜头聚焦在被检球面中心，根据曲经半径值调整被检球面移动距离（在光栅尺上读数），不调整被检球面倾斜干涉条纹应是中心对称的，数光圈数和象散偏差。 8.球面干涉仪检测面形精度 检测局部误差 调整被检球面的前后位置和面倾斜，使表面出现3~5条干涉条纹，中间的干涉条纹尽量拉直或干涉条纹弯曲与中心线对称，进行测量。 9.平面干涉仪检测平面度 平面度的自动测量 调整被检平面的倾斜，使光圈中心对称，通过计算机的自动处理计算平面度，即PV值 9.平面干涉仪检测平面度 光圈数大于1时的目视测量 调整被检平面的倾斜，使光圈中心对称，数最大方向的光圈数，光圈数除以2就是对应波长数。 9.平面干涉仪检测平面度 光圈数小于1时的测量 调整被检平面的倾斜，使表面出现3~5条干涉条纹，根据干涉条纹的弯曲程度计算光圈数，同4.2，光圈数除以2就是对应波长数 10.检验条件 图纸有检测波长要求时，按图纸的波长检测 图纸上没有检测波长要求时 球面、柱面在加工过程中用白光检测，出厂检用632.8nm光检测。 平面度使用用632.8nm光检测 11.不同波长光圈数的换算 计算标准光圈时，规定波长λ0为标准光源，光圈数是N0。在使用其它波长λ的单色光进行检验时，则技术文件中规定的光圈数应按公式换算：N=（λ0/λ）N0 合肥嘉东科技有限公司 光学表面面形精度标准 1. 适用范围 光学表面面形精度标准适用于干涉法检测光学表面（球面、平面、柱面等）的面形偏差的判定 2.定义和说明 平面度：被检光学平面与理想平面之间最大凹凸偏差之和，以波长为单位（nm） 2.定义和说明 光圈数：用干涉法比较被检光学表面与标准表面之间的最大间隔偏差（相当于曲率半径的偏差），用干涉条纹的数量为单位。符号为“N” 曲率半径 象散偏差（局部误差1）：被检光学表面与标准光学表面在两个垂直方向光圈数和差值，以干涉条纹的数量为单位。符号为“Δ1N” 2.定义和说明 2.定义和说明 局部偏差（局部误差2）：被检光学表面与标准光学表面在任意方向干涉条纹的局部不规则程度，以干涉条纹的数量为单位。符号为“Δ2N” 局部误差：包含象散偏差、局部偏差，是其综合最大值。以干涉条纹的数量为单位。符号为“ΔN” 2.定义和说明 光圈的正负 低光圈（负光圈）：被检光学表面与标准光学表面边缘接触、中间有间隙 2.定义和说明 高光圈（正光圈）：被检光学表面与标准光学表面中间接触、边缘有间隙 2.定义和说明 光圈的正负 3.光圈高低的识别 1.在样板上轻轻的施加压力，干涉条纹从边缘向中心移动为低光圈；干涉条纹从中心向边缘移动为高光圈 2.当光圈比较少干涉条纹比较直时，在样板边缘一点稍加压力，干涉条纹中部向受力点弯曲时为负光圈；反之干涉条纹背离受力弯曲时为正光圈 3.光圈高低的识别 3.光圈高低的识别 3.在白光下观察时，从中心到边缘颜色顺序为“蓝、红、黄”时为低光圈；从中心到边缘的颜色顺序为“黄、红、蓝”时为正光圈 4.在球面干涉仪上观察，将零件向镜头稍移动，光圈数减少为低光圈，光圈数增多为高光圈 3.光圈高低的识别 4.光圈数的测量 在光圈数较多的情况下以有效检验范围内直径方向上最多干涉条纹的一半来度量 N1的光圈数的度量 上：低光圈 下：高光圈 4.光圈数的测量 在光圈数较少时以通过直径方向上干涉条纹的弯量（h）相对于干涉条纹的间距（H）的比值（N）来度量 4.光圈数的测量 光圈数N=h/H N1的光圈数的度量 4.光圈数的测量 弯量 间距 光圈很杂乱无规律时，光圈数以零件中心到边缘有最多干涉条纹数方向计算 N=6 4.光圈数的测量 当光圈较少时出现S形光圈，被检面光圈数N=h/H 4.光圈数的测量 5.象散偏差（△1N）的测量 被检表面有象散时，以干涉条纹最多的方向计算光圈数，以光圈差值最大的两个垂直方向计算象散偏差。 5.象散偏差（△1N）的测量 典型的象散偏差的度量 椭圆象散 N=3，△1N=1 5.象散偏差（△1N）的测量 马鞍形象散光（双曲象散） N=2，△1N=3 典型的象散偏差的度量 5.象散偏差（△1N）的测量 柱面象散光圈 N=1，△1N=1 典型的象散偏差的度量 5.象散偏差（△1N）的测量 当光圈数很少时，测量两个垂直方向光圈数相差最大方向的光圈数，其差值就是象散偏差 5.象散偏差（△1N）的测量 象散偏差△1N=0.2 竖直方向光圈数，Ny=-0.4 水平方向光圈数，Nx=-0.2 6.局部偏差（△2N）的测量 以局部不规则干涉条纹相对理想