奈米氣體感測器技術.pdfVIP

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2018-05-27 发布于河南
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奈米氣體感測器技術.pdf

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奈米氣體感測器技術

奈米氣體感測器技術林鴻明材料工程學系大同大學簡介氣體感測器技術的發展趨勢由傳統的陶瓷、液態電化學技術逐漸進展至厚膜、薄膜、半導體技術；目前更進展至微機電技術。產品趨勢多以輕、薄、短、小及省能源為訴求，微機電技術有助於感測元件大量生產，達到一致性、省能源、微小化、積體化、多功能及智慧化之目標。分析儀器與氣體感測器比較 Comparison between analytical instruments and gas sensors Analytical instrument Gas sensor Data precision excellent ( absolute value ) excellent-fair Data acquisition time long real time Size large compact Cost high low Application environmental process control monitoring monitoring stationary site stationary site mobile site 氣體污染容忍標準 Air pollutants, their concentration ranges and the methods of detection currently adopted Concentration range (ppm) Detection Method Gas In air In exhausts 4 5 CO2 300 - 1000 10 – 2x10 IR absorption ISE (pH) thermal conductivity -3 chemical NOx 10