洁净室的原理.docVIP

一、洁净室空调系统的特点 1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。 2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多，其运行费约是一般办公楼的10（1万级)～30(100级)倍。就空调冷负荷而言，一般办公大楼为120W/m2左右，一般洁净室为300～800w/m2，而大规模半导体器件厂房可以达到1400～1600w/m2。 同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行，这也与其他空调系统极其不同。 3、送风量大。一般办公大楼换气次数为10次/h左右，一般洁净室换气次数可选为：100级按室内平均风速0.2～0.5m/s来计算，1000级按50～60次/h计算，10000级按15～25次/h计算，100000按10～15次/h；而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400 次/h，10000级洁净室的换气次数可选到40次/h，100000级洁净室的换气次