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集成电路成品率的版图灵敏度模型分析-analysis of layout sensitivity model of ic yield.docx

集成电路成品率的版图灵敏度模型分析-analysis of layout sensitivity model of ic yield.docx

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集成电路成品率的版图灵敏度模型分析-analysis of layout sensitivity model of ic yield

西安电子科技大学学位论文独创性(或创新性)声明秉承学校严谨的学风和优良的科学道德,本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果;也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。申请学位论文与资料若有不实之处,本人承担一切的法律责任。本人签名:日期西安电子科技大学关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定,即:研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件,允许查阅和借阅论文;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证,毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。(保密的论文在解密后遵守此规定)本学位论文属于保密,在年解密后适用本授权书。本人签名:导师签名:日期:日期:摘要在深亚微米技术节点,成品率设计,尤其是版图设计阶段的成品率设计是解决可制造性问题和成品率问题的重要途径。为了减少由冗余物缺陷所引起的成品率损失,选择优先进行优化的候选线网成为版图优化过程中的一个重要课题。本文提出了一种新的短路灵敏度模型,该模型以线网为单位,反映了单位面积膨胀后的线网上该线网与周围线网间的关键面积的大小。由于本文的灵敏度模型是关于单一线网的,同时又包含候选线网周围线网的信息,因此,在优化时可以同时减少候选线网与周围线网之间的短路关键面积,提高了版图优化的效率。与以往的考虑芯片面积或者考虑基本版图的信息灵敏度模型相比,本文提出的短路灵敏度模型不仅优化效率高,而且更加适用于版图优化时待优化线网的选择。关于开路灵敏度模型,因为灵敏度模型的研究最终是为了进行版图优化设计以提高成品率,所以本文提出了考虑线网优化空间的开路灵敏度模型。该模型综合分析了线网进行优化的必要性和可能性,可以确保选取的优化位置能够进行高效的版图优化。关键词:成品率可制造型设计局部缺陷版图优化关键面积版图灵敏度AbstractFormodernprocessesat90-nmand65-nmtechnologynodes,yielddesign,especiallytheyielddesignatthestageoflayoutdesignisanimportantwaytoresolvetheproblemaboutmanufacturabilityandyield.Inordertoreducetheyieldlosscausedbyredundancymaterialdefect,choosingthealternativenetwhichtobeoptimizedatfirstisbecomeanimportantproblemintheprocessoflayoutoptimization.ThepaperprovidesanewNSS-netSensitivityforshortmodel,whichisnet-basedandreflectssizeofthecriticalareabetweenthesinglenetandthenetsaroundit.Becauseofthismodelisbasedonsinglenetandincludestheinformationofthesurroundingnet,thecriticalareabetweenthesinglenetandthenetsarounditcanbereducedatonetime.Bythisway,theefficiencyoflayoutoptimizationbecomeshigher.Accordingtotheexperiment,thissensitivitymodelcanbeusedtochoosethepositionforoptimization.Comparingwiththechipareabasedandbasiclayoutbasedsensitivitymodel,thissensitivitymodelinthepapernotonlybearshigherefficiency,butalsoholdtrueforchoosingthenetwhichtobeoptimizedatfirst.Ontheshortcircuitsensitivitymodel,becausethesensitivitymodelisultimatelyforlayoutoptimization

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