岛津spm9500原子力显微镜原理及操作流程.pptxVIP

第1页/共41页原子力显微镜1.研究背景2.AFM简介3.AFM的基本原理4.AFM主要构件及功能5.AFM成像模式及特点6.AFM的功能7.对样品的要求8.AFM操作流程9.注意事项10.AFM应用领域11.AFM在生命科学中的应用12.AFM应用前景第2页/共41页1.研究背景 以光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜为代表的一系列先进显微技术的出现与应用，为人类科技和社会进步做出了巨大贡献。1986年，IBM公司的 G.Binning 和斯坦福大学的 C.F.Quate 及C. Gerber 合作发明的原子力显微镜(Atomic ForceMicroscope, AFM)更为突出地显现了显微观测技术对人类的重要性， 它是在扫描隧道显微镜基础上为观察非导电物质经改进而发展起来的分子和原子级显微工具。并以高分辨、制样简单、操作易行等特点在生命科学、材料科学等领域发挥了重大作用，推动了纳米科技的发展，促使人类进入了纳米时代。第3页/共41页2.AFM简介 原子力显微镜（Atomic Force Microscope ，AFM），是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。第4页/共41页原子力显微镜SPM-9500第5页/共41页3.AFM的基本原理 当样品在针尖下面扫描时，同距离密切相关的针尖-样品相互作用会引起微悬臂的形变，微悬臂的形变是对样品-针尖相互作用的直接反映。通过检测微悬臂产生的弹性形变量ΔZ, 就可以根据微悬臂的弹性系数ｋ和函数式Ｆ=k·ΔZ直接求出样品-针尖间相互作用Ｆ。再利用照射在悬臂尖端的激光束的反射接收来检测微悬臂的形变。第6页/共41页 由于光杠杆作用原理，即使小于0.01nm的微悬臂形变也可在光电检测器上产生10nm左右的激光点位移，由此产生的电压变化对应着微悬臂的形变量，通过一定的函数变换便可得到悬臂形变量的测量值。当样品在XY平面内扫描时(对某一点其坐标为[x,y])若保持样品在Z轴方向静止，且令探针的竖直初始位置为零，则可根据针尖-样品相互作用与间距的关系得到样品表面的高度变化信息Δh(x,y)，即样品表面任意点(x,y)相对于初始位点的高度。对样品表面进行定域扫描便可得到此区域的表面形貌A=A(x,y, Δh(x,y))。第7页/共41页4.AFM主要构件及功能（1）为反馈光路提供光源的激光系统(Laser) ；（2）进行力 - 距离反馈的微悬臂系统(Cantilever)；（3）执行光栅扫描和Z轴定位的压电扫描器(x,y,z Piezo-scanner)；（4）接收光反馈信号的光电探测器(Detector)；第8页/共41页（5）反馈电子线路(CurrentCircle)；（6）粗略定位系统；（7）防震防噪声系统；（8）计算机控制系统与数据处理软件；（9）样品探测环境控制系统(湿控、温控、气环境控制等)；（10）监控激光-悬臂-样品相对位置的显微及CCD摄像系统。 其中，前四大系统是该仪器的核心部件。第9页/共41页4.1 激光系统 激光器是光反馈通路的信号源。由于悬臂尖端的空间有限性，就对照射器上的光束宽度提出了一定要求：足够细、单色性好、发散程度弱；同时也要求光源的稳定性高，可持续运行时间久，工作寿命长。 而激光正是能够很好地满足上述条件的光源。第10页/共41页 4.2 微悬臂系统 微悬臂是探测样品的直接工具，它的属性直接关系到仪器的精度和使用范围。 微悬臂必须有足够高的力反应能力，这就要求悬臂必须容易弯曲，也易于复位，具有合适的弹性系数，使得零点几个纳(nN)甚至更小的力的变化都可以被探测到；同时也要求悬臂有足够高的时间分辨能力，因而要求悬臂的共振频率应该足够高，可以追随表面高低起伏的变化。第11页/共41页 根据上述两个要求，微悬臂的尺寸必须在微米的范围，而位于微悬臂末端的探针则在10nm左右，而其上针尖的曲率半径约为30nm，悬臂的固有频率则必须高于10kHz。通常使用的微悬臂材料是Si3N4。其弹性系数k=3 =9.57，其中E,I分别为杨氏模量、转动惯量，L,m,f分别是微悬臂的长度、质量和共振频率。微悬臂的劲度常数一般为4× --2.0N/ｍ。第12页/共41页 4.3 压电扫描系统 压电换能器是能将机械作用和电讯号互相转换的物理器件。它不仅能够使样品在XY扫描平面内精确地移动，也能灵敏地感受样品与探针间的