利用纳米压痕技术提高algainp led光提取效率的研究-study on improving light extraction efficiency of algainp led by nanoindentation technology.docxVIP

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2018-05-29 发布于上海
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利用纳米压痕技术提高algainp led光提取效率的研究-study on improving light extraction efficiency of algainp led by nanoindentation technology.docx

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利用纳米压痕技术提高algainp led光提取效率的研究-study on improving light extraction efficiency of algainp led by nanoindentation technology

山东大学硕士毕业论文目录目勇乇．iCON’IEN髑．．iii摘要．IABSTRACTIV第l章绪论．11．1引言．11．1．1发光二极管的早期发展．．21．1．2III．V族复合半导体的发展．41．2AIGalnP发光二极管的结构和基本性质71．2．1A1GalnP四元合金半导体71．2．2A1GalnP发光二极管的结构和工作原理91．3提高LED光提取效率的方法．．131．3．1图形化结构提高LED光提取效率．．151．3．2光辅助化学腐蚀提高LED光提取效率．．221．3．3其他方法提高LED光提取效率．．301．4研究目的和主要研究内容31参考文献．．33第2章利用纳米压痕技术提高AIGalnP发光二极管光提取效率．402．1引言402．2压痕理论及纳米压痕技术412．2．1压痕理论422．2．2纳米压痕技术及应用472．3GaP纳米压痕性质482．4在GaP窗口成制备大面积纳米压痕结构512．4．1实验步骤52万方数据山东大学硕士毕业论文2．5结果与讨论532．5．1大面积周期性纳米压痕结构532．5．2纳米压痕结构对AIGaInPLED光电性质的影响552．6结论57参考文献．．59第3章化学腐蚀辅助提高纳米压痕结构A1GaInPLED光提取效率．623．1引言623．2实验步骤．633．3结果与讨论643．3．1压痕结构643．3．2经过腐蚀的纳米压痕结构对AIGaInPLED光电性质的影响．．70结论．．73参考文献．．74第4章结论与展望．．754．1主要结论754．2本论文的创新点764．3有待进一步开展的工作76致谢．．78攻读硕士期间取得的科研成果一80万方数据山东大学硕士毕业论文CoNTENTSCONTENTsiABSTRACT．IChapter1．Introductionl1．1HistoryandDevelopmentofLEDs一l1．1．1EarlyDevelopmentofLEDs21．1．2DevelopmenoflII—VSemicondutors41．2StructureandBasicPropertiesofAlGalnPLEDs．．．．．．．71．2．1A1GaInPSemicondutors71．2．2S乜uctureofAlGdnPLEDs91．3MethodstoImproveLEDLightExlractionEfficiency．．131．3．1ImproveLEDLightExtractionEfficiencywithPatternStructure．．151．3．2IncreashgLightExtractionEfficiencyofLEDsUs吨LaserEnhancedWetEtchingMethod．．221．3．3OtherMethodstoImproveLEDLightExtractionEfficiency301．4PurposesandMainContemsoftheResearc．．．．．．．．．．31Refefences．．：；：；Chapter2．PeriodicIndentationPatternsFabricatedonAIGaInPLEDsandn】e证EffectsonLightExtraction．．．．．．．．．．．．．．．．．．．，．402．1IntroductionI()2．2IndentationTheoryandNanoindentation一412．2．1IndentationTheory一422．2．2NanoindentationandApplication．472．3NanoindentationPropertiesofGaP．．482．4PeriodicIndentationPatternsFabricatedonAlGaInPLED一512．4．1ExperimentalProcedure522．5ResultandDiscussion．．53nl万方数据山东大学硕士毕业论文2．5．1PeriodicIndentationPatterns．．532．5．2E妇融ctonA1(hInPLEDs’OpticalandElectricalPropertiesofNanoindentationS仃uctlre．．．．．．．．．．．552．6Conclusion．57References．．59Chapter3．EtchingEnhancedAIGalnPLEDwithNanoindentationPatterns62：；．1Inlroduction6：13．2ExperimentalProcedure．．．．．633．3ResultandDiscussion一643．3．1IndentationStructure．．643