微波电浆促进化学气相沉积方法形成类钻碳高解析电子显微镜与场.PDF

行 類 精 類 行 年年 行 料 劉 參理 隆羅 盧 李 理 李 論 理 利 年 年 ㄧ 、摘要 本研究合成之類鑽碳亦稱為非晶質碳(Amorphous carbon ；a-C) ，包含某些氫(a-C:H) ， 2 3 具備混合SP 與SP 鍵結的碳結構 。類鑽碳薄膜擁有低磨擦係數 、化學耐久性與極高硬度等 優異特性 ，是應用於磨耗阻抗最佳選擇材料之一 。此外 ，由於類鑽碳薄膜的優異熱傳導 、 附著性與場發射性 ，也可以使用在如在電子元件熱交換器 、場發射顯示器上 。這些類鑽碳 2 3 薄膜性質隨著薄膜中SP 與SP 鍵結的濃度而改變 ，近年來之研究已顯示類鑽碳薄膜中因含 3 3 有高濃度的SP 鍵結 ，造成其硬度 、光學透明度等特性趨近於鑽石 ，而這類高濃度SP 鍵結 之類鑽碳薄膜一般亦稱為四面體碳 、非晶質鑽石或奈米鑽石 。因此目前以本校既有之微波 電漿化學氣相沉積 （MPCVD ）系統(MP-ERL2000) ，開發穩定及最佳化之製程參數 （包括 MPCVD製程功率 、製程真空度 、相關製程氣體組成與流量 、製程基板溫度 、鍍膜時間 、… 等 ）於1X3平方公分鍍有ITO之玻璃基板片上形成奈米鑽石薄膜 ，探討奈米鑽石薄膜材料特 性 （Characteristic ）與場發射效應之關係 。我們已成功地開發穩定及最佳化之製程參數於矽 3 單晶 、ITO玻璃等基板上成長出高濃度SP 鍵結之類鑽碳薄膜 ，並於真空腔體內進行平行電 板的二極體式場發射顯示器元件測試 ，以 Keithley 237 數位電源供應器暨測量系統 ，實際 進行相關之I-V電性量測 。相關研究成果已發表於AEPSE2007等國際會議及國內相關會議 。 本研究之部份成果於2007年已刊載於Surface Coatings Technology之SCI期刊 。 關鍵字 ：奈米結構,富勒烯,非晶質,類鑽碳,場發射 Abstract DLC films have a variety of properties between those of diamond and graphite. The 2 3 properties of DLC films vary with the concentration of sp and sp carbon in the films. Recently, it has shown that the properties of DLC films with a high concentration of sp3 carbon, such as hardness, optical transparency etc., approach to the value s of diamond. The DLC films with high concentration of sp3 carbon are also termed as tetrahedral carbon, amorphous or nano-crystalline diamond. Based on the