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- 2018-05-27 发布于江西
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衬底温度对直流反应磁控溅射法制备的N掺杂p型ZnO薄膜性能的影响_英文.doc
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衬底温度对直流反应磁控溅射法制备的N掺杂p型ZnO薄膜性能的影响_英文_
第36卷第5期
人 工 晶 体 学 报
Vol.36 No.5 2007年10月
JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALS
October,2007
EffectsofSubstrateTemperatureontheProperties
ofN2dopedp2typeZnOFilmsDeposited
byDCReactiveSputtering
WANGChao,JIZhen2guo,IGPin1233
(1.InsituteforMicrosystemofPhysics,ofUniversity,Kaifeng475004,China;
2.InstituteofElectronicInforDHangzhou310018,China;3.StateKeyLaboratoryfor
SiliconmicalEngin
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