固体薄膜(氧化锌).doc

固体薄膜 期刊主页: /locate /tsf 退火对Zn0薄膜透明和导电性能的影响 文章信息 文章历史：收稿日期:2007年10月31日；修订日期：2008年7月2日 发表日期:2008年9月15日 2008年10月7日可在线查阅。 关键词：退火，电气性能，光学特性，结构特性，氧化锌，溅射沉积 摘要 这篇文章研究了掺杂Zn0薄膜的结构，电学和光学性质，射频溅射制备方法和退火对淀积所有的膜具有c轴取向的纤锌矿结构正常的基板。0.32微米厚的样本，逐渐减少的电阻率主要是由于逐渐增加的流动性。另一方面，在空气中退火处理样品。2008 Elsevier B.V保留所有权利 引言 氧化锌（Zn0）是一个最有趣的透明导电氧化物（TCOS）。自从它成为各种各样研究的主题后它的重要性与日俱增。在压电应用，注意力已集中在两个基本属性[1,2]：高电阻率和高取向结晶结构。zn0有一个大的机电耦合系数表明它有一个强大的压电效应。 在光电子和光电转换领域，氧化物是非常有用的。进行研究的目的是提高三个参数：导电率，光透射比和结晶质地[3-5]。许多其他主题的研究，包括光电[6]，光致发光[7]，退火[8}和掺杂[9}都有报道。zn0薄膜制备了由不同的技术沉积：溅射[10]，激光[11]蒸发[12]，喷雾[13}和化学气相沉积法[14]。 在先前的文章中[15]，我们曾报道不同的基板位置对Zn0薄膜特性的影响。我们发现，当基板与目标垂直时，会产生高导电透明层电阻率平均透过率近85%，每个加热持续1小时 靶基局 50mm 基板位置 垂直于目标 真空压力 10-3pa 溅射气体 氩气 溅射气压 3pa 射频功率 300w 表1 Zn0薄膜沉积参数 在研究薄膜生长方向和晶粒尺寸时采用X射线衍射（XRD）使用的是飞利浦自动粉末衍射仪1700在θ一2θ配置与铜Kα结果与讨论相对于目标溅射系统结果发现，峰宽度的（002）显然取决于退火温度的环境是什么一个可以预期的晶粒尺寸有一个温度依赖行为上，晶粒尺寸演变进行了研究。平均晶粒大小估计从半峰全宽（002）峰值。结果列于表2。样品在空气中退火处理，晶粒尺寸为207?。 晶粒尺寸 0.17微米样本 0.32微米样本 沉积 图2 SEM照片显示了一个典型的Zn0薄膜横截面和表面形态的一部分。可以观察到正常的基材表面的柱状生长。 电气性能?和N的变化。在这个数字中可以看出，0.17时厚的样品的电阻率逐步下降直到2500C，然后，在3000C急剧下降到约1.8 X10-3Ωcm。该薄膜的电阻值约比样品低一个数量级。到了3000C以后，ρ变化不明显。 至于有关0.32微米厚的薄膜的真空退火，其电阻率的变化不太明显。在3000C下，沉积从5X10-3一1.3X10-3Ωcm逐渐下降。超出此温度则无明显改变。0.17un样品电阻率的下降主要是因为流动性u和载流子浓度。而0.32um样品的电阻率的下降主要是因为流动性u的增加而造成的。然而，在空气中退火薄膜的电阻率从2.53 X 10-3Ωcm-2.95 X10-2Ωcm急剧上升约五个数量级。霍尔效应测量这种薄膜退火温度 退火温度退火温度Ο）：0.32微米厚的样品 所获得的流动性u和载流子浓度N分别为23.71cm2 V-1S-1 和1.04 X1020 cm-3 为了解释以上薄膜的电气性能，我们认为是其微观结构的特点所决定的，比如：如晶粒尺寸和生长方向，和周围的氧气。一些文章已经指出晶粒尺寸的行为会对多晶薄膜的流动性造成严重后果，而化学吸附的氧气在很大程度上影响载流子浓度[16-18]。 简言之，当晶粒尺寸的增加，密度晶界减少，其对电荷载体的流动性的影响减少，因此，流动性会增加。反之，当晶粒尺寸减小，散射的晶界成为优势流动性减少。?倒退到270?，并且流动性从21.85 cm2 V-1S-1倒退到19.27 cm2 V-1S-1 。出于这个原因，0.32微米厚的样品在电气性能上的变化不如0.17微米厚的样品那样明显。 当退火样品暴露在空气中时，很显然它具有很强的氧化性。在这个过程中会有相当数量的氧被吸附。我们观察暴露在空气中的退火样品时发现化学吸附的氧会导致自由载流子浓度的急剧降低，而自由载流子数量的下降又会导致电阻率的大幅增加。W. M. Hlaing等报告说，Zn0纳米颗粒表现出来的电导率的下降，是由于类似于化学吸附氧的行为[8]。 波长（nm） 波长（nm） 图4。Zn0薄膜的透射光谱（一）沉积及（b）样品3000C分别在这两种情况退火厚度(―-―-―-―-)0.17微米的薄膜在真空退火，(??????????)0.32微米的