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高性能切削工具上CVD掺杂Al2O3涂层
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高性能切削工具上的 CVD 掺杂 Al2O3 涂层
作者：王以任
摘要：当今，高性能硬质合金切削刀片要求涂层具有相当的耐磨性能。化学气相沉积的Ti（C，N）和Al O 组合系统
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是满足这些要求的选择。在对工艺稳定以及Al2 3 2 3
O 的改变与结构等实验方面的影响都做了研究。Al O 的一些沉积特
性比如通过添加气氛（TiCL4 3 2 3
、BCL ）的掺杂机理、沉积温度做了介绍。常压下Al O 涂层的沉积温度范围在930—1030
℃.掺杂元素的密度与分布是通过电感耦合等离子质谱仪、能量分散X射线分析仪（EDX能谱仪）、扫描透视电镜（SEM、
TEM）来研究。微应变和亚结构是通过高温X射线衍射仪（XRD）来分析，以研究在800—1100℃范围内掺杂元素的种
类、沉积温度、自动稳相原理。本研究还提出通过掺杂Ti可以提高沉积速度。B可以扩大к- Al O 稳定相的沉积温
2 3
度范围。Ti和B掺杂的к-Al O 在1000℃以上显示出低的全宽半幅值。这主要是因为影响了к- Al O 向a- Al O 变的
2 3 2 3 2 3
动力，从而提高了在切削刀具к- Al2 3
O 涂层的高温耐磨性。
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关键词：涂层；CVD；Al O ；硬质合金；磨损
1.简介
Al2 3 2 3
O 具有非常优良的综合性能，比如高硬度、化学稳定性以及低的热导率。在硬质合金刀具上，Al O 与 TiCN
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的沉积组合在高切削速度上作为耐磨层而受到用户的欢迎。虽然，通常用来沉积 Al O 的涂层技术有很多例如 CVD、
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PACVD或者PVD，但是CVD是最常用的方法。在应用耐磨性上最常出现的相是稳定的a- Al2 3 2 3
O 以及亚稳态的к- Al O ，
通常都是以单一层或者复合层沉积。为了满足车削和铣削在高性能和高切削速度方面的要求，需要提高在硬质合金
上沉积的常规 Al2 3
O 的切削性能。高性能切削技术，特别是
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