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第六篇 章 有限元法模拟 微电子器件及工艺CAD(半导体器件模拟课件).ppt
一维Poisson方程的有限元方程 一维Poisson方程的有限元方程 0 0 m为系统节点数 一维Poisson方程的有限元方程 由上述推导可以看出,用有限元法求解线性缓变结的电势分布,得到的线性方程组的系数矩阵也是三角线矩阵,同样可以用追赶法求解。此外,在迭代过程中, 的初值 及边界条件的处理与有限差分法求解式相同。 以上介绍了用有限元法解一维非线性Poisson方程,可以看出,解一维的微分方程,有限元法与有限差分法相比没有什么优越性,相反,建立有限元方程的数学步骤可能更为复杂。有限元法的优势在于解复杂边界的实际问题,这恰恰是有限差分法所不能及的。所以有限元法的优点只有在多维复杂在边界的模拟中才有可能体现出来。 一维Poisson方程的有限元方程 §6-5 有限元法二维模拟 为了便于说明问题,以二维Poisson方程为例说明求解过程。同时,假设Poisson方程是线性的,即 (6.5.1) 设求解区域为D,则加权余数方程为 (6.5.2) r为元素的节点数。 有限元法二维模拟 分部积分 有限元法二维模拟 为浮动边界,nx,ny为单位法线方向矢量。 (6.5.3) 有限元法二维模拟 分部积分时,注意二维器件的边界条件中分成两部分;一部分是电极区,即有金属层覆盖的区域,其电位是固定的,解题时只要把固定值代入即可,同一维情况一样,解题过程中可以暂时作为未知数保留在方程中;另一部分是非电极区,即浮动边界,这些边界的电位是不固定的,但在这些边界上 法线方向的梯度为零。这样式(6.5.3)变为 (6.5.4) 有限元法二维模拟 为浮动边界,nx,ny为单位法线方向矢量。 (6.5.3) , 其(6.5.4)式为 有限元法二维模拟 (6.5.5) 展开(6.5.5)式(即分别取l=i,j,k),并写成矩阵形式 GO GO 有限元法二维模拟 有限元法二维模拟 将插值函数代入 1 2 3 4 7 5 6 ? ? ? ? ? ? h 假设器件区域的离散如图所示 有限元法二维模拟 0,0 h,0 0,h 0,-h (6.2.8) 对于元素1,节点为1(0,0), 2(h,0), 6(h,h),由式(6.2.8)得 有限元法二维模拟 采用同样的计算步骤,可得其余元素的有限元方程如下: 元素2,节点为6(h,h), 3(0,h), 1(0,0) 元素3,节点为4(-h,h), 1(0,0), 3(0,h) 有限元法二维模拟 采用同样的计算步骤,可得其余元素的有限元方程如下: 元素4,节点为1(0,0), 4(-h,0), 7(-h,-h) 元素5,节点为7(-h,-h), 5(0,-h), 1(0,0) 有限元法二维模拟 采用同样的计算步骤,可得其余元素的有限元方程如下: 元素6,节点为2(h,0), 1(0,0), 5(0,-h) 有限元法二维模拟 如果把这6个元素的集合看成是一个系统,则系统组装后的有限元方程为 有限元法二维模拟 §6-6 MOS器件的二维稳态分析 MOS器件的二维稳态分析 1.基本方程 MOS器件的二维稳态分析 2. 归一化 MOS器件的二维稳态分析 2. 归一化 MOS器件的二维稳态分析 2. 归一化 设 得 归一化的基本方程 MOS器件的二维稳态分析 2. 归一化 方程(6.3.4)中表示的误差分布原理的形式与加权函数的选择有关。一旦指定了加权函数,方程(6.3.4)就表示出求Ci的m个方程,它们或者是代数方程,或者是常微分方程,于是第二步是解方程(6.3.4)求Ci。通过方程(6.3.2)可得到未知场变量 的近似表示。可以证明,对于许多线性问题,甚至某些非线性问题,当 时, (6.3.4) ~ 加权余数法 由于可采用的加权函数或误差分布原理有多种选择方式,因而就有多种加权余数技术。最经常用来推导有限元方程的误差分布原理称为伽辽金准则,或伽辽金法。根据伽辽金法所选的加权函数与用来表示 的近似函数相同,即Wi=Ni, 因此,伽辽金法要求 (6.3.5) 加权余数法 上述讨论是假定在整个求解区域上进行的。由于方程(6.3.1)对求解区域中的任意一点都成立,因此,对于由点集所定义的整个区域中的任何子区域或元素也是成立的。所以,可集中讨论单独一个元素,确定一个类似于方程(6.3.2)的局部近似,并且每次只对一个元素有效,这样,场变量的有限元素表示就变得可能了。可将函数Ni视为定义在元素上的插值函数 ,而Ci就是待定参数,它可以是场变量或者导数的节点值。
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