37半导体制程设备.pdfVIP

3.7 半導體製程設備 3.7.1國內外背景及研究現況 近年來我國半導體產業呈現蓬勃之發展(如表 3.5) ，1995 年其產值約新台 幣 987億元 ，佔全球市場2.67% ，排名第四，1998 年之產品產值為 1,225億元 ， 半導體產業之產值更高達新台幣 2,744億元 ，是我國最耀眼的明星產業[1-2] 。 依據野村總合研究所接受行政院所作的評估 ，預期至 2005 年的製造產值約佔 我國全體製造業的四分之一 ，是我國經濟成長與對外貿易之主力產業[1] 。 表3.5 我國 IC 產品之市場規模 1994 1995 1996 1997 1998 1999(e) IC 產品產值 580 987 914 1,053 1,225 1,303 進口值 1,264 1,738 1,675 1,860 2,135 - 出口值 335 603 553 558 616 - 國內市場需求 1,509 2,122 2,036 2,355 2,744 3,156 資料來源 ：工研院電子所ITIS計畫 (1999/5) 。 單位 ：新台幣億元 在國外 ，半導體產業的大廠多以設計、製造、封裝、測試等上下游自行整 合的方式經營 ，然而國內則以上下游垂直分工的型態經營 ，和國外有很大的不 同 ，同時集中資源於單一產業領域之術業專攻模式下進行，這幾年獲得了相當 好的成效 。依據資料顯示[3] ，1998 年國內已有超過 115 家的 IC設計公司 、3 家晶圓材料廠商 、20 家晶圓製造公司 、36 家封裝公司 、30 家測試廠商 、13 家 導線架生產廠商 、5 家光罩公司 ，估計這些行業的家數仍會逐年增加。如此龐 大且綿密之週邊相互支援體系 ，其實是除美、日之外，他國所無的 [3] 。除 新竹科學園區現有之半導體製造廠外 ，台南科學園區亦將有另一波的八吋及十 二吋的晶圓廠陸續建廠 ，並加入營運， 1999 年在台南科學園區已經有 17 家公 司投資引進 ，其投資總金額為新台幣16,416億元 [4] 。一般八吋晶圓廠之設廠 投資額隨其產量之不同而異 ，平均一個廠約需新台幣200億至 250億 ，十二吋 1 晶圓廠之投資額 ，平均一個廠約需新台幣1,000億 ，其中製程設備之投資額約 佔總投資額的 60% 。然而，在國內這些數目及經費龐大之設備幾乎都是仰賴進 口 。 由於半導體的材料 、尺寸及製程技術不斷的創新，競爭也愈來愈激烈。半 導體製程技術目前量產技術一般為線寬 0.25µm和 0.18µm ，根據美國半導體工 業協會 （Semiconductor Industry Association, SIA ）之最新規劃Roadmap[5] 的資料如圖 3.2及表 3.6 ，下一代則為0.18µm 、0.13µm 、0.1µm… ，而每一代 技術之生命週期約三年 （SIA Roadmap ），預估在西元2002 年與 2005 年的製程 技術將分別為 0.13µm 與 0.1µm ，所以設備亦將隨之不斷更新，是以設備需求不 斷且其價位則越來越高 ，因此，半導體製程設備是一個非常值得發展與切入的 產業 。由於半導體製程設備研製是一個投資大、風險大，但是利潤高之產業， 對於我國半導體產業之永續發展相當重要 ，因此應積極推動半導體製程設備之 研製 。 在龐大的半導體投資成本裡 ，有一半以上是製程設備的成本，而半導體製 程設備產業是技術整合性極高的產業 ，它需要機械、物理、化學、化工、控制、 光電 、材料與電子資訊等跨領域的人才。國內在半導體製造業雖然有不錯的成 2 (1998 Update) 0.3