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超净气体输配管道的施工验收技术 中国航天建筑设计研究院张洪雁 文摘本文作为高纯,高洁净气体输配管道的配管技术一文的延续和补充.文中 进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的真正功效,严谨的施工保障措施,以及验收 的检测方法等细节问题,为设计,施工人员提供一个良好的借鉴. 关键词管道洁净度终端过滤器施工保障检测验收 Abstract Requirments Of the design,installation,test and acceptance fOr ultra-pure gases distribUtion system.real effect Of terminal filter and strict measures fOr piping installaion,test and acceptance are described Key words Cleanliness Of piping lnstallation measures Termingl filter Test and Occeptante 微电子已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导和基础,有了微电子技术的 超前发展,便能够有效地推动其它各项前沿技术的进步,如广播,通讯,农业,气象,资源, 侦察,导航等各种卫星和空间试验站及星际间往返系统等等,都离不开高度可靠,具有超高 速度,低能耗,长寿命,小体积,抗幅照等特殊功能的微电子产品. 集成电路的集成度和复杂程度越来越高.污染控制技术已经成为微电子产品发展的先决 条件,从表1可以洞察当今微电子技术发展的基本态势∣ 1∣. 当前,一些国家已经完成了100M位产品的研制或生产∣ 2∣,对于这类超微,超大规模 集成电路,粒径为0.2μm的尘埃粒子便可能造成集成电路断路或短路,改变半导体材料 的性能,甚至破坏半导体的晶格结构,影响印制板的复制等等.仅这些因素之一便足以导致 集成电路的失效而报废.基于这些最基本的原因,迫使我们从事洁净技术的人员,必须认真 研究和对待粒子污染的控制问题.笔者曾在本刊2001.2期发表了高纯.高洁净气体输配 管道的配管技术,本文就系统合理设计和施工验收中一些具体的技术细节问题,进行深入 的阐述和研讨. 1超净气体管道洁净等级的标准 管道系统的正确选材和安装,对于确保输送高纯,超净气体的质量(纯度,干燥度,洁 净度)无疑是至关重要的.一组高纯,超净气管路系统安装完毕.如何确认是否合格,除对 管道系统进行必要的宏观检查外,最重要的还是对管道系统进行干燥度,洁净度,纯度的检 测.目前,一些国家对于大流量气体输配系统,已经达到了粒径≥0.1μm污染物的粒子数 量不超过10颗/m3或更低的技术水平,如在一些实验系统中,甚至对≥0.02μm的污染物 粒子,也达到了不超过10颗/英尺3的水平∣ 3∣.众所周知,气体中粒子的含量会随着运行 工况的不同(时间,压力,温度)而发生变化,污染物粒子和微量水分之间也会相互影响,并 且可能产生聚合.成为较大的污染物粒子,在管道壁沉积或聚集.有时也会被试验用的本底 气体所裹挟,进入试验气流中；而设计中对管材,管路附件作了不正确的选用或施工不严格 等,都会使系统的洁净度遭受破坏；总之,因素很多.所以,对管道系统洁净度的检测是一 项复杂而困难的工作,因此,在国内,外有关的规范,标准中,都没有对压缩气体输送过程 中.被粒子污染的程度作出限制规定,因此,我们认为,由于需用高纯,超净气体的工艺系 统,绝大多数是在洁净环境中使用,因此.气体管道洁净度的控制标准,应以不玷污产品为 准则,但至少应当与生产环境的洁净度等级保持一致,而不得低于环境的要求,不会因为使 用了洁净度不高的气体,而破坏了洁净的生产环境,粒子含量的等级,长时期以来,世界多 数国家执行美国联邦标准209,在欧洲,如英国有《密闭空间环境洁净度BS9295》∣ 4∣, 德国有《VDl2083 Partl》∣ 5∣等,2000年在国际环境科学委员会在日内瓦公布了洁净室及 洁净区空气洁净度等级的ISO标准,同时宣布美国联邦标准209E等效使用. 1988年我们也曾发表过有关洁净气体管道施工验收技术措施的文章.其中,除对 气体本身的质量有所要求外,对管道系统也要求达到209D的水平或与其相近,在当年, 这个要求是十分严格的. 而到了1996年,微电子工艺气体中过氧化氢及氟化氢中铁的污染与1989年的实际状况 进行专门的比较,在短短的几年时间里,要求值由低于10ppb一跃变为10ppt.工业气体的 净(纯)化程度,必须通过相应设备的点滴改进而获提高,难度很大.实践表明.大容量的气 体设备,调节器,阀门,及气体输配管线,比气体自身更具污染力,包括气体自身在内,大 约全部污染的95%与系统组配及操作有着直接的关系,因