电子信息产业智库联合基金2015年度开 放课题申请指南硅基光电子.pdfVIP

电子信息产业智库联合基金2015 年度开放课题申请指南 硅基光电子集成技术研究 研究硅基光电子集成技术所涉及的各项关键性技术，掌握从光电 子集成芯片的设计与制造，到芯片的测试与封装的全部环节。具备基 于硅基光电子集成技术开发光器件和光模块的能力。下设6 个开放课 题，执行期限1 年。 课题1：硅基无源光波导器件设计工具的开发 开发设计硅基无源光波导器件所需的工具包，具体包括：波导模 式分析模块、器件传播特性分析模块、光学材料管理模块、光路级联 分析模块。该工具包应该能使设计者方便、快捷地仿真并设计各类硅 基无源光波导器件。 课题2：硅基有源光电子器件设计工具的开发 开发设计硅基光调制器和硅锗光探测器所需的工具包。该工具包 应该能使设计者方便、快捷地仿真并设计硅基光调制器和硅锗光探测 器。 课题3：硅基高速光调制器的技术研究 基于与CMOS 兼容的工艺，设计并制作出MZI 型硅基光调制器。 要求在1310nm 波段，调制速率达到28Gb/s。光调制器的制造工艺要 能兼容硅基无源器件和硅锗光探测器的制造、要能支持将硅锗光探测 器、硅基光调制器、硅基无源器件集成在同一个衬底上。 课题4：硅锗光探测器的技术研究 基于与CMOS 兼容的工艺，设计并制作出波导型PIN 硅锗光探测 器。要求在 1310nm 波段范围内，带宽达到 28GHz。光探测器的制造 工艺要能兼容硅基无源器件和硅基光调制器的制造、要能支持将硅锗 光探测器、硅基光调制器、硅基无源器件集成在同一个衬底上。 课题5：硅基无源光波导器件的技术研究 基于与CMOS 兼容的工艺，设计并制作出各种硅基无源光波导器 件，具体包括：单偏振态下激光器至波导光栅型耦合器、单偏振态下 激光器至波导端面型耦合器、单偏振态下波导至光纤光栅型耦合器、 偏振态分离型光纤至波导光栅型耦合器、光功率分路器、CWDM 光波 分复用器、CWDM 光解波分复用器。无源光波导器件的制造工艺要能 兼容硅基光调制器件和硅锗光探测器的制造、要能支持将硅锗光探测 器、硅基光调制器、硅基无源光波导器件集成在同一个衬底上。 课题6：磷化铟激光器芯片与硅光子晶圆键合技术研究 本课题为解决硅基光子集成芯片的光源问题。光源由基于磷化铟 材料的激光器芯片提供，硅基光子集成芯片上集成了光调制器、光探 测器、和各种无源光波导器件。本课题要求开发出磷化铟激光器芯片 与硅基晶圆键合的工艺，并以该工艺把激光器芯片放置到硅基晶圆上 的指定位置，使激光器发出的光耦合进硅基光波导。 课题1：硅基无源光波导器件设计工具的开发 【课题研究目标】 开发设计硅基无源光波导器件所需的工具包，具体包括：波导模 式分析模块、器件传播特性分析模块、光学材料管理模块、光路级联 分析模块。该工具包应该能使设计者方便、快捷地仿真并设计各类硅 基无源光波导器件。 【基本要求】 1）无源硅基光波导模式分析模块，能对二维和三维情况下 rib waveguide 和channel waveguide等多种形状的光波导进行解模、 绘制模场图、求解等效折射率、进行TE、TM 模式分类； 2）无源硅基波导器件传播特性分析模块，能模拟光波导器件的传播 特性，比如能模拟1x2 MMI、Y-junction、Directional coupler、 Ring Resonator 等器件各端口的透射和反射特性； 3）光学材料管理模块，能够添加和编辑包括硅、二氧化硅、三五族 化合物等半导体材料、以及金属等色散材料，并能够将这些材料 应用于光波导传播特性分析； 4）光路级联分析模块，能够建立多单元光路结构，将每个单元器件 进行参数提取，并能够合并到一起进行模拟分析，进而预测整个 硅光子集成芯片的性能； 5）光波导模式求解结果可直接用于光器件传播特性仿真； 6）仿真与设计软件要具有简单易用的用户界面； 7）支持二维和三维结构和结果展示； 8）仿真与设计软件要具备各种常用硅基光波导器件的结构模型，使 用户能方便的输入、编辑要仿真的器件； 9）基于所开发的工具包，课题承担者能按照海信提出的、明确的器 件性能要求完成硅基光子器件的设计，以验证其工具包的有效性； 【进度安排】 请课题承担单位给出。 【预期成果】 1）开发出一系列仿真与设计软件