干涉的应用2011年10月31日第十次课PPT课件.ppt

2001年3月25日 双光束干涉的应用第十一次课2011年11月31日 1、用牛顿环测量透镜的曲率半径 （利用等厚条纹进行测量） 习题： 带通 滤波器 探测器 单模光纤 宽带光源 50/50耦合器 放大器 同步信号 发生器 Z扫描 扫描 控制器 锁相相关 解调器 数据采集 计算机 X扫描 样品 物镜 聚光镜 Z扫描 y扫描 Z扫描器 自聚焦透镜 参考反射镜 1）OCT技术已开始用于生物组织的成像及材料亚表面缺陷的检测中，例如，用于进行眼内组织（如晶状体、视网膜等）无损伤、高分辨的成像。OCT技术已成为目前研究的热点问题之一，但由于其成像分辨率受光源自相关特性的影响，因此对光源相关参数的要求比较高。 OCT技术在内窥镜装置中的应用 横向分辨力为1.8 μm ，轴向分辨力25 μm. * R r h o 当以单色光垂直照射时，在空气层上形成一组以o为中心的中央疏边缘密的圆环条纹，称为牛顿环。第N个暗环的半径为r： 2、激光平面干涉仪（利用两个平面之间的楔形空气层产生的等厚条纹来检验平面零件的仪器） H He-Ne激光器 标准平板P 全反射镜M L1 小孔光阑，位于准直透镜L2的焦点上 物镜L2 被测平板Q 观察系统，位于L2的焦平面位置 理想平面：等距的直条纹； 非理想平面：弯曲条纹。 1）测定平板表面的平面度及局部误差 思考：平面偏差是凹陷还是凸起？ 上下移动P，干涉环向外扩，则表 示凸球面。要根据标准平面和被测 平面的相对取向及条纹弯曲的方向 判断，若条纹向两平板间厚度小的一 侧弯曲，则被测平面凹陷。 理想平面：等距的直条纹； 平行平板的平行度用最大厚度差来表示：如在直径为D的平行平板上观察到条纹的数目为N，则最大厚度差为： 2）测量平行平板的平行度及小角度光楔的楔角 激光平球面干涉仪 H He-Ne激光器 标准平板P 全反射镜M L1 小孔光阑，位于准直透镜L2的焦点上 物镜L2 经过校正的物镜 观察系统，位于L2的焦平面位置 被检验球面的球心 与物镜的焦点重合 光学仪器 标准球面板P 被测球面Q 被测球面Q 等厚干涉 斐索干涉仪 迈克尔逊干涉仪 1．工作原理 白光作为光源时，由于色散的存在，不同波长的光有不同的折射率，因而不同波长的光通过通过玻璃板时增加的光程不同，这是无法用空气的行程来补偿的。 迈克尔逊干涉仪 M1 M2’ 干涉条纹 等厚线 在迈克尔迅干涉仪中,如果调节反射镜M2使其在半反射面中的虚像M2’与M1反射镜平行，则可以通过望远镜观察到干涉仪产生的等倾圆条纹。假定M1从一个位置平移到另一个位置时，视场中的暗环从20个减少为18个，并且对于前后两个位置，视场中心都是暗斑。已知入射光波长为500nm，望远物镜的视场角为100，试计算M1平移的距离。 应用举例 迈克尔逊干涉仪 马赫一泽德干涉仪 马赫一泽德干涉仪 共焦显微成像原理描述 共焦显微成像原理描述 差动共焦探测技术 聚焦误差信号 系统工作原理 光聚焦误差信号及求和信号实测曲线 物镜L1 被测样品 光纤F1 分光镜BS 全反射镜M 光纤F2 探测器CCD 物镜L3 点光源S 物镜L2 z x 基于麦克尔逊干涉原理的光纤共焦显微层析成像技术 物镜L2 被测样品 点光源S 光纤F3 分光镜BS 全反射镜M 物镜L1 物镜L3 光纤F2 光纤F1 探测器CCD 物镜L4 ys zs xs o a b d c 压电陶瓷 A/D采集卡 PC Monitor 光电接收 器 A/D采集卡 CCD1 准直扩束器 Y X Z L4 PBS F2 F1 M 三路PZT 驱动系统 BS L2 样品 L1 S F3 He-Ne激光器 L5 F4 Ｂ BS Pinhole1 Detector1 Detector2 Collecting lens2 Collecting lens1 Subtracter Pinhole2 Sample Measuring lens 1/4 wave plate PBS Pinhole3 Laser ?=632.8nm Ａ C 三维超分辨差动共焦显微探测技术 a1 a2 a3 r x y h1 h2 h3 r h(r) 位相型光瞳滤波器 R Radial birefringent element Polarizer Polarizer Radial birefringent element 基于径向双折射差动共焦显微探测技术 位移驱动 控制系统 光强探测 光学系统 图象处理 偏振 分光镜 物镜L3 光瞳 滤波器 1/4波片 针孔阵列 微透镜阵列 扩束准直 He-Ne 激光器 CCD 微位移工作台 A/D