飞秒激光器的微细加工.doc

飞秒激光器的微细加工 飞秒激光是一种以脉冲形式运转的激光，持续时间非常短，只有几个飞秒，一飞秒就是10的负15次方秒，也就是1／1000万亿秒，它比利用电子学方法所获得的最短脉冲要短几千倍，是人类目前在实验条件下所能获得的最短脉冲。这是飞秒激光的第一个特点。飞秒激光的第二个特点是具有非常高的瞬时功率，可达到百万亿瓦，比目前全世界发电总功率还要多出百倍。飞秒激光的第三个特点是，它能聚焦到比头发的直径还要小的空间区域，使电磁场的强度比原子核对其周围电子的作用力还要高数倍。高功率飞秒激光系统由四部分组成：振荡器、展宽器、放大器和压缩器。在振荡器内，利用一种特殊技术获得飞秒激光脉冲。展宽器将这个飞秒种子脉冲按不同波长在时间上拉开。放大器使这一展宽的脉冲获得充分能量。压缩器把放大后的不同成分的光谱再会聚到一起，恢复到飞秒宽度，从而形成具有极高瞬时功率的飞秒激光脉冲1965年出现皮秒激光超短脉冲 ?.1976年利用对撞锁模技术实现了0.3ps激光脉冲 ?.1981年利用CPM环形染料激光器产生了90fs的激光脉冲 ?.1985年美国贝尔实验室获得27fs的激光脉冲 ?.1986年我国的陈国夫获得19fs激光脉冲 ?.1988年出现了用半导体激光器泵浦的Nd:YAG锁模激光器产生5.5ps的激光脉冲 ?.1991年后,掺钛蓝宝石晶体的研制成功,出现了钛宝石激光器 电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展，而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具。飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工本领，并能对透明材料进行各种微细加工，如钻孔、切割和形成特殊结构等。 激光微细加工必须能满足以下两项要求： (1)必须能加工出极小的特征尺寸；(2)必须 使加工件周边的热损伤最小，并使产生的碎屑最少。传统激光微细加工通常使用短波长紫外 激光器，这种激光器均能达到上述目标。 紫外激光微细加工 短波长激光因其聚焦光斑尺寸受衍射极限的限制，光斑直径与激光波长呈线性比例关 系，故能加工出很小的特征尺寸。在传统激光微细加工中，最小特征尺寸通常大约是激光波 长的一半，因此若使用波长为266nm的激光进行加工，则达到的最小特征尺寸大约为150nm。 紫外激光微细加工是通过烧蚀加工过程来完成的，因而能满足加工件周边损伤最小的要 求。在加工过程中，高能紫外光子直接激发(被加工)靶材中的电子并断裂开原子连接键。 实际上，这种烧蚀加工不会产生大量的热或溅射的材料。相比之下，较长波长的激光器以其较低能量的光子加热材料，直接将材料加热到沸腾蒸发掉，因此导致周边出现较严重的热损伤。 遗憾的是，紫外激光微细加工很难使波长向短波方向扩展到大约157nm以下，这是因为激光器和传输那么短波长光束的透镜透射材料均不容易获得。为了解决这一难题并使其真正应用于纳米加工技术领域，科学家们正在研究一种超快激光微细加工技术。这种技术利用超快激光多光子吸收，当把锁模激光束聚集成很小的光斑时，聚焦光斑处的高能量密度使靶材的电子被同时吸收的多个低能光子所激发。当原子或小分子分裂时，这部分材料就会被喷射出去。 多光子吸收 与紫外激光微细加工一样，多光子吸收加工几乎对周边无热损伤影响。然而更重要的是，多光子激发是用中心波长为850nm的掺钛蓝宝石激光器输出的激光实现的。掺钛蓝宝石超快激光脉冲具有加工小至70nm 特征尺寸的能力，这是因为掺钛蓝宝石激光器的非线性功率依赖于多光子吸收激发，而不是传统的单光子吸收激发。 线性(单光子)吸收使激光加工功率与入射激光功率呈线性关系，达到一级近似。而多光子吸收，使激光加工功率与(激光功率)N呈非线性关系，N是同时被吸收的多光子数。总之， N值在3～10范围内，与激光脉冲峰值功率和被 加于的材料有关。激光加工功率对激光功率高度的依赖性，意味着激光束的有效加工尺寸比依赖高斯强度分布的激光束的有效加工尺寸小很多。 超快激光烧烛加工的另一个重要优点是能加工用Q开关紫外激光器不能加工的透明材料，即高带隙材料。虽然“透明”材料对激光的吸收很微弱，但在聚焦激光束腰处的高激光强度能有效激励非线性多光子吸收过程，因此近红外超快激光能微细加工许多种材料，包括金属、塑料、玻璃和陶瓷等。 此外，飞秒激光脉冲能在透明基质材料内进行加工，且不影响表面或外层。这种三维控制加工是可以实现的，因为激光的能量仅在激光束腰处被材料(多光子)吸收。利用低能量激光脉冲和大数值孔径光学系统，仅在沿Z轴(光束传播)方向很短一段距离内实现激光强度超过烧蚀阈值强度。随着激光脉冲宽度与脉冲能量之比值的降低，将达到最高的轴向分辨率。只有飞秒激光脉冲(而