非晶硅薄膜太阳能电池制作装置.pdfVIP

[51]Int.α7 [19] 中华人民共和国国家知识产权局 H01L31104 H01L31118 [12] 实用新型专利说明书 [21] 江专利号X [45]攫权公告自 2创)()年 11 月 1 日 [11]银根公告号 CN2物4215Y [22] 申晴目 1999.12.22 [24]颁证日 2创lO.10.14 [21] 申情号X [η]专利权人中国科学院沈阳科学仪器研制中心 [74]专利代理机掏 中国科学院沈阳专利事务所 地址 110∞3 辽宁省沈阳市和平区三好街76 号 代理人朱光林周秀梅 [刀]设计人李求恕 张娟娟 邹志刚 冯彬阁佐健钟福刚 曾志群 潘福金 石长友 权利要求书2 页说明书5 页附图页数2 页 [54] 察用青型窑称非晶硅薄膜太阳能电池制作装置 [57]捕事 本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池制作设 6 备。由七个真空室、真空获得装置、气路和尾气处理组 成，七个真空室为长方体形，线列式排列，气动网板阀隔 寸 离，设有轨道小车及导轨，三个反应室及过波室设电容精 合电极板;气路分9 路进气，三个反应室各设3 组与质 1 v d N U K 量流量控制糖阳℃连接z 尾气处理通过三套增压泵、机 械泵机组把有毒气体分流;真空获得是在反应室 I 及两 ∞ 侧过渡室接涡轮分子泵和离子泵，反应室P 与进片室及 反应室N与出片室间均接涡轮分子泵。它具有真空隔 Z H O O 离、连续淀积效果。 同 的 的 知识产权出版社出版 ••• ••• ... ••• ... •••• . •• .. •••• •••• .. .. •••••