非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备及其工件夹具.pdfVIP

SooPAT 非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划 设备及其工件夹具 申请号：200820213579.X 申请日：2008-11-19 申请(专利权)人 深圳市大族激光科技股份有限公司 地址 518053广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路 8号 发明(设计)人 高云峰 陈明金 吴志宏 倪鹏玉 谢建 李世印 郑国云 主分类号 B23K37/053(2006.01)I 分类号 B23K37/053(2006.01)I B23K26/42(2006.01)I B28D7/04(2006.01)I B28D5/04(2006.01)I 公开(公告)号 201309060 公开(公告)日 2009-09-16 专利代理机构 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 代理人 杜启刚 [19 ]中华人民共和国国家知识产权局 [51] Int. Cl. B23K3元@刃 ρ006.01 ) B23K26/42 臼肋5.01 ) [12 ]实用新型专利说明书 B28D 7/04 (2臼班~1 01 ) B28D 5/04 (2006. 01 ) 专利号 ZL 200820213579.X [45] 授权公告日 2009 年9 月 16 日 [11] 授权公告号 CN 201309060Y [22] 申请日 2008.1 1. 19 [74] 专利代理机构 深圳市兴科达知识产权代理有 [21] 申请号 200820213579. X 限公司 [73] 专利权人深圳市大族激光科技股份有限公司 代理人 杜启刚 地址 518053 广东省深圳市南山区高新科技 园松坪山工厂区5 号路8 号 [72] 发明人高云峰陈明金吴志宏倪鹏玉 谢建李世印郑国云 权利要求书3 页说明书 11 页附图6 页 [54] 实用新型名称 非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备及其工 件夹具 [57] 摘要 本实用新型公开了一种非晶硅薄膜太阳能电池 激光刻划设备及其工件夹具，对非晶硅薄膜太阳能 电池的非晶硅( a - Si) 和/或后电极进行激光刻划。 激光刻划设备的 Y 轴机座通过立柱安装在机座的上 1f; Y 轴运动系统安装在 Y 轴机座的下面，工件夹 具以悬挂方式安装在 Y 轴运动系统的下面，便于安 装自动化的进出料系统，提高设备的自动化程度和 生产效率 CCD 定位系统将采集的定位数据传送给 计算机工控系统，由计算机工控系统对工件夹具的 纠偏调节定位点进行控制，自动化程度高，刻划质 量好。 200820213579.X 权利要求书 第1/3支 1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备工件夹具，所述的工件夹 具包括框形的底板，在桂形