非晶硅薄膜太阳能电池的新工艺及理论模拟.pdfVIP

摘 要 摘 要 论文对非晶硅太阳能薄膜的原理和工艺进行了深入分析和讨论，优化了一个最适 合投入批量生产的工艺。因为非晶硅薄膜的质量与材料、结构工艺设备有关，希望通 过本论文的系统研究，从材料、结构的改变和工艺水平提高的角度增强非晶硅太阳能 电池的竞争力。 “太阳能极具吸引力，原因是太阳光用之不竭，一旦拥有设备，我们 就可以源源不断得到免费的能源。”对太阳电池的开发和利用，目前是世界各国研 究的重点，尤其在如今进入能源短缺的年代，制造太阳电池的材料、结构及工艺有多 种。其主要有单晶硅、多晶硅和非晶硅薄膜和多晶硅薄膜，论文在分析和比较了其他 几种太阳电池的材料、结构和工艺特性的基础上，提出了一个新的太阳能电池制作工 艺。 太阳能电池在非晶硅上取得令人鼓舞的结果，但由于缺陷的存在使得人们不断 探索新的工艺和其他薄膜电池，例如硒化铜C(dhisZe)或砷化稼G(几As)等.尽管这些 材料在太阳能电池的性能上有较满意的表现，但这些材料大都含有毒物质，并且非常稀 少，因而限制它们的全球应用。也有人用有机材料，但它的转化效率非常低并且稳定 性差。西门子宣布可以把这种电池的转换效率从通常的3%提升到5%，但从总体上 看，目前全球大约90%的薄膜太阳电池的生产仍是基于氢化非晶硅 (-asl:H)的技 术。本文基于非晶硅薄膜制造，其原因如下:非晶硅薄膜太阳能电池现在在光电市场 越来越重要，在过去十年非晶硅薄膜太阳能电池义已经实现了超过 31%的转换效率， 如今利用各种结构可以有更高的转换效率。非晶硅薄膜比单晶硅的转换效率多40倍， 薄膜厚度仅需要 1微米便可吸收约 90%的可用光能量。在与单晶硅和多晶硅太阳电 池相比，非晶硅薄膜电池的光电成本非常低。非晶硅可以淀积在塑料、玻璃和金属上， 使非晶硅是理想的构造PV产品并且容易实现大面积化。非晶硅对太阳光有很高的吸 收系数，并产生最佳的光电导值，很容易实现高浓度可控掺杂，可以在很宽的组分范， 围控制它的能隙变化，形成异质结，并有十分低的界面态。非晶硅沉积温度低，薄膜 制作的工艺简单，仅通过各种气体源就可一次性连续完成复杂器件的制作，所以成本 低易于实现大生产。 本文主要探索了一种新的非晶硅薄膜电池结构DPNI，即对称PNI结构。该结构 非晶硅薄膜电池制造工艺简单，成本较低并且巧妙采用新讨称上艺(注意不需要高温 沉积)使电池效率达到 11%以上，并且电池的稳定性较好。论文对其结构进行了模 型设计模拟和分析，建立了一套最优化的工艺参数，并结合目前成熟的等离子体增强 化学气相沉积法 (Plasm-ae hnnacedchemlc时物poroe即sition，简称PEcvD)、热丝 化学气相法(Hw-cvD)和微波电子回旋共振化学气相沉积，设计出一套对称LPEcvD 化学气相沉积工艺，从理论上分析了淀积的原理，推导出最佳的工艺参数。该工艺有 较大的淀积率，用51践制备1层的淀积率达到1匆5，理论上用BZH夕51践气体可以均 匀制备P层，用P比+51践制备N层。利用对称流量控制和PID控制，能够得到片 内和片间较均匀的薄膜。分析了非晶硅太阳电池的模型，进行了对称结构电池的模拟 第 1 页 复旦大学工程硕士学位论文 验证，证实了其优越胜。并制作了双层结构的薄膜电池，测试结果表明增加了31个 小时的光电效应，大大提高了利用率. 关键词:非晶硅薄膜、透明电极兀0、非屏.硅对称P卜结构、对称电离加强化学气相 沉积1艺、等效模型、电池模拟 中图分类号:TK51 第 “页 A日STRACT .. 如 _ ABSTRACT Thethesisofcusesonhtenaalysisofa一51:HmaoPrhoushtin一filmsolracell’5 hteo汀nadPapro朗玩naddesi邵sabestPaproachotdoProducts诫thhihgqusl;y