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译文标题通过微注射成型复制聚合物微小结构的实验和分析原文标题Implementation and analysis of polymeric microstructure replication by micro injection molding作者Yu-chuan su,Jatan Shah,Liwei Lin译名苏豫川，Jatan Shah,林利伟国籍美国原文出处2004 IOP Publishing Ltd Printed in th UK通过微注射成型复制聚合物微小结构的实验和分析苏豫川，Jatan Shah,林利伟1.伯克利传感器执行器中心，美国加州大学，伯克利，CA 94720，美国2.机械工程学系，美国加州大学，伯克利，CA 94720，美国3.机械工程学系，密歇根大学，Ann Arbor，MI 48105, 美国邮箱: yuchsu@me.berkeley.edu收到90 2003年9月2003年12月17日发布在线在stacks.iop.org/JMM/14/415（作者：10.1088/0960-1317/14/3/015）摘要本文介绍了传统的注塑成型工艺适应大规模复制聚合物微小结构与相应的模具设计和控制过程。使用湿蚀刻硅片作为模具镶件的表面微小结构，我们已经成功地预测，改善和优化复制的结果。聚合物熔体在微型模具型腔中的流动特点是试验和仿真。在各工艺参数中，温度被认为是关键因素，直接决定了注塑微小结构的质量。根据收集到的实验和仿真结果，优化过程是为潜在的应用进行提高复制质量和建立指导方针。因其高速度、低成本，合适的精密加工注射成型工艺过程会引起一个很有前途的微机电系统(MEMS)技术的应用。1.介绍由于其独特的性质，聚合物已经越来越多的被广泛应用，包括大型和小型设备。为了扩大微机电系统(MEMS)对聚合装置的领域，介绍一个既省钱又有较高精度并且有效的技术来制备聚合物的微小结构是很重要的。在最近几年，已经提出了许多复制聚合物微小结构的技术，包括使用热压法[3]和注射成型[4]的方法复制聚合物微小结构的里加过程[1, 2]。模具嵌件是通过使用x射线光刻组装成的，里加过程提供了用各种各样的材料制造任意几何形状和高深度、高长径比的设备的可能性，如金属、聚合物和各种成型过程的陶瓷。在不同的成型工艺中，注塑成型最突出的优势是低成本、高精密、批量生产。通过使用特殊的注塑过程[5–12]和传统的光盘注射成型工艺[13, 14]已经成功复制了聚合物的微小结构。然而，聚合物熔体在微型模具型腔中的流动性是完全不清楚的。人们认为是由于大表面积比，表面效应将会控制在微小尺度下[15]的流动性。这篇文章旨在研究聚合物熔体在微型模具型腔中的流动性和确定所需的策略来适应复制聚合物微小结构的传统注射成型过程。首先，直接应用传统的注射成型工艺来复制聚合物微小结构是用一个仿真软件C-MOLD[16]来分析的。用不同组合的工艺参数来模拟研究聚合物熔体的流动性、工艺参数和塑造的微小结构的质量之间的关系。利用这些结果，可以发现最意义的参数，提出可行的处理策略和模拟验证其可行性。最后，这些策略应用于评价模具试验的有效性。2.理论模型因为大多数注塑聚合物部分有复杂的三维结构，并且聚合物熔体流变反应通常是不满足牛顿定律和非等温的，所以分析没有简化的充填过程是很困难的。由赫尔和肖氏[17]提出的广义的赫尔肖氏流动模型是为非等温，非牛顿定律和在薄壁型腔中的弹性流动提供简化的控制方式最常见的近似法，如图1所示。假设GHS流动模型是：（1）腔体的厚度远小于另一个尺寸。（2）忽视厚度方向的速度分量，压力只是一个函数的x和y。（3）流动区域被认为是全面发展赫尔肖氏流动，惯性和引力是远小于粘性力。（4）流动运动学是剪切力占主导地位，剪切粘度被认为取决于温度和剪切速率。赫尔和肖氏已经提出详细的推导过程，并且这些假设较好的运用在微注射成型过程。针对这些假设和忽视充填阶段的可压缩性，在笛卡尔坐标系中的动量方程减少到[17]（1）x和y分别是x方向和y方向的速度分量，P（x,y）是压力，η（γˊ,T）是剪切粘度，γˊ是剪切速率，T是温度。在目前的假设中，给出γˊ是（2）利用润滑近似，平均厚度连续性方程的结果（3）x和y是在z上的平均速度，b是壁厚的一半。经过几个衍生步骤，聚合物熔体流动的控制方程可以减少到著名的雷诺方程：（4）S是流动率，它被定义为（5）速度和剪切速率可以获得（6）其中，和由于模具和聚合物熔体的温度不同，在流动中粘滞加热,充填过程应该被认为在非等温情况下。忽视热传导方向，根据厚度2b远小于其他两个尺寸的假设，熔化区域的能量方程变为（7）是粘滞加热术语，、和k分别是密度，比热和导热系数。为了简单起见，假设速度和温度在z方向是对称的，聚合物熔体在模具表面的速度是零