第4章 第41节 压电式传感器.pptVIP

第4章 物性型传感器 §4.1压电式传感器 本节内容 一、压电效应 二、压电材料 三、压电式传感器的等效电路 四、压电式传感器的测量电路 五、压电式传感器的典型应用 本节小结 认识压电式传感器 压电式传感器的工作原理：是基于某些介质材料的压电效应, 是典型的有源传感器（发电型传感器）。 认识压电式传感器 应用：在各种动态力、 机械冲击与振动的测量, 以及声学、 医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 一、压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。 当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 二、压电材料 压电材料应具备以下几个主要特性： ①转换性能。要求具有较大的压电常数。 ②机械性能。机械强度高、刚度大。 ③电性能。高电阻率和大介电常数。 ④环境适应性。温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 ⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 二、 压电材料 压电材料的主要特性参数： 压电常数：衡量材料压电效应强弱的参数，影响压电输出的灵敏度； 弹性常数：刚度决定压电器件的固有频率和动态特性； 介电常数：决定压电器件的固有电容，固有电容影响压电传感器的频率下限（C越大，频率下限就越低）； 二、压电材料 机械耦合系数：衡量压电材料机－电能量转换效率。是转换输出能量（如电能）与输入能量（如机械能）之比的平方根。 电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄露，改善传感器的低频特性。 居里点温度：压电材料开始丧失压电特性的温度。即工作温度上限。 常用的压电材料 压电晶体 （1）石英晶体 （2）水溶性压电晶体 （3）铌酸锂晶体 压电陶瓷 （1）钛酸钡压电陶瓷 （2）锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT) （3）铌酸盐系压电陶瓷 （4）铌镁酸铅压电陶瓷(PMN) 新型压电材料 （1）压电半导体 （2）高分子压电材料 石英晶体 石英晶体有天然和人工培养两种类型。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体没有区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。 石英晶体 在几百摄氏度的温度范围内，其介电常数和压电系数几乎不随温度而变化。但是当温度升高到573℃时，石英晶体将完全丧去压电特性，这就是它的居里点。 石英晶体 石英晶体有很大的机械强度和稳定的机械性能，没有热释电效应，但灵敏度很低，介电常数小，因此逐渐被其他压电材料所代替。 石英晶体 石英材料价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 注：因为石英是一种各向异性晶体，因此，按不同方向切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。在设计石英传感器时，应根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。 水溶性压电晶体 这类压电晶体有酒石酸钾钠(NaKC4H4O64H20)、硫酸锂(Li2SO4H2O)、磷酸二氢钾(KH2PO4)等。 水溶性压电晶体具有较高的压电灵敏度和介电常数，但易于受潮，机械强度也较低，只适用于室温和湿度低的环境下。 铌酸锂晶体 铌酸锂是一种透明单晶，熔点为1250℃，居里点为1210℃。它具有良好的压电性能和时间稳定性，在耐高温传感器上有广泛的前途。 铌酸锂具有明显的各向异性力学性能，与石英晶体相比它很脆弱，而且热冲击很差，所以在加工装配和使用中必须小心谨慎，避免过猛、急冷和急热。 压电陶瓷 压电陶瓷与石英晶体不同，前者是人工制造的多晶体压电材料，而后者是单晶体。 压电陶瓷在未进行极化处理时，不具有压电效应；经过强电场极化处理后，它的压电效应非常明显，具有很高的压电系数，为石英晶体的几百倍。 压电陶瓷具有与铁磁材料磁畴结构类似的电畴结构 压电陶瓷产品 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷（如BaTiO3等）。 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡(BaTiO3)是由BaCO3和TiO2二者在高温下合成的。具有较高的压电系数（约为石英的50倍）和介电常数。但它的居里点较低，为120℃，此外机械强度不如石英。 锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT) 锆钛酸铅是PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb(Zr·