晶体生长第三章 热量、质量的混合传输.docVIP

热量、质量的混合传输 §1.混合传输 流体宏观运动，引起热与质的传输 流体分子的微观运动，引起热与质的扩散传输 混合传输：包括热量、质量以及动量的传输。 传热方程 （1） 传质方程 （2） 欲知：T（x,y,z,t）和C(x,y,x,t)，必须知道 确定流体速度场，已知有三个方程： 强迫对流 （3） 自然对流 （4） 流体动量守衡方程，又称纳维叶—斯托克斯方程（Navier-stokes eguatious） 连续方程： 流体不可压缩，无源场 （5） 以上5个方程描述了传输过程。 对强迫对流 解速度场： 解浓度场： 对自然对流 应用五个偏微分方程联合求解，难度甚大。因此很少有解析解。不得不采用近似方法： ⅰ 模拟法 ⅱ 量纲分析，进行半定量分析。 ⅲ 数字计算（有限元方法），用计算机。 目前生长Ф8″～Ф1 2″英寸硅单晶，正开展计算机模拟工作。 §2.相似流动 雷诺数（Reynolds number） = v=μ/ρ 定义：R=ρVd/μ=Vd/ v 几何相似、R相同：二系统相似的充要条件 费鲁得数（Froude number） 几何相似、F相同：二系统相似的充要条件。 几何相似 描述二系统无量纲方程具有相同解 引入特征长度d、特征速度V、特征动力头ρV2 （压力量纲），把参量无量纲化： ； ； 于是有： 或： 不同系统，只要R、F相同、二系统几何相似，可用相同无量纲方程描述，且具有相同的解。 则二系统相似，即： 和相同。 §3.坩锅中的自然对流 非等温系统和非等浓度系统中的浮力 重力场中流体密度差异产生浮力是自然对流的驱动力。（重力场与温度梯度方向一致）。视流体为不可压缩（5atm，1℃）。 单位体积流体由于密度变化所产生的浮力 2.水平温差和浓度温度差引起的自然对流—格拉斯霍夫数（Grashoff number） 温度场：（一维温场） T=T2 y=-b T=T1 y=b 速度场： Vz=0 y=±b A=6(-T0)/△T 热壁、冷壁间沿z方向的净流量为零 引入无量纲速度 无量纲线速 (Grashoff number) 水平温度差引起自然对流的驱动力。 水平浓度差引起自然对流的驱动力： 3.垂直温度差引起的自然对流—瑞利数（Rayleigh number） 同样 §4. 混合传输的相似性原理 几何相似：有相同的无量纲初始条件和边值条件 相同无量纲传热、传质方程、动力学和连续方程，表明二系统流体具有相似速度、温度和浓度场。 定义： 把方程改写成无量纲方程： p=v/ (Prandtl number) 普兰托数 S=v/D (Schmidt number) 斯密特数 两系统混合传输相似 相同的初始、边介备件（几何相似） 自然对流：R、GT、GC、P、S （相同） 强迫对流：R、F、P、S （相同） 各无量纲参数的物理意义 §6.生长过程中液流的转变与介面翻转 自然对流到强迫对流的转变 R2?GT （判据） 介面翻转的临界直径d 2.界面翻转 CZSi翻转的临界直径，关于滞后现象 §7.旋转流体内的液流 晶体生长过程中： 晶转 坩埚旋转 通常液流也是旋转的。旋转液流存在惯性离心力和科里奥利力（Coriolis forcez）。 旋转流体的描述 实验室坐标系：惯性坐标系 旋转坐标系： 非惯性坐标系（存在与非惯性坐标系相关的加速度，这就产生了惯性离心力与科里奥利力）。 旋转坐标系中的流体动力学方程: 在许多问题中，惯性离心力可以表示为标量的梯度 可与压力梯度项合并 :科里奥利加速度 于是旋转流体的动力学方程可以表示为： 2. 泰勒—普劳德曼定理(Taylor-Proudman theorem) 取d、Ω-1、V为特征长度、特征时间、特征速度 ，，， 为无量纲转速的单位矢量 R0为罗斯比数（Rossby number） R0: 表明对流项（非线性项）的相对重要性。 E：最高阶微分项系数。区域中是否存在速度边界层的判据（切变层）。 若流体对流很弱，又远离切变层： R0≈0；E≈0（粘滞力，对流惯性力可以忽略） 科里奥力与压力梯度保持平衡，称为地转流动（geostrophio flo