第二篇第二讲(二篇第二章透射电子显微镜与构造) 最终讲课final.ppt

8 电气系统 高压电源 透射电源 偏转线圈电源 真空系统电源 照相系统电源 安全保护电路 高压系统 二 透射电镜中主要部件的结构与工作原理 1 样品平移与倾斜装置（样品台） 电镜样品小而薄，通常用外径3mm的样品铜网支持，网孔或方或园，约0.075mm，见图。 样品台的作用是承载样品，并使样品在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。 平移是样品台的基本动作，平移最大值 ± 1mm。 在一起成为侧插式双倾样品台和单倾旋转样品台。 目前，双倾台是最常用的，沿X和Y轴倾转 ± 45°。 样品台的倾斜和旋转装置可以进行三维立体分析，测定晶体的位向、相变时的惯习面以及析出相的方位等。 倾斜装置用的最普遍的是“侧插”式倾斜装置，如图所示。 2 电子束倾斜与平移装置 新式电镜都带有电磁偏转器，使入射电子束平移和倾转，其原理见图，上、下两线圈联动的。利用电子束原位倾斜可以进行中心暗场成像操作。 3 消像散器 用来消除或减小透镜磁场的非轴对称性，把固有的椭圆形磁场校正成旋转对称磁场的装置。 消像散器分为机械式和电磁式两类: 消像散器一般安装在透镜的上、下极靴之间。 机械式：电磁透镜的磁场周围放置几块位置可以调节的导磁体来吸引部分磁场。 电磁式：通过电磁极间的吸引和排斥来校正磁场，如图所示，两组四对电磁体排列在透镜磁场外围，每对电磁体同极相对安置。通过改变两组电磁体的励磁强度和磁场的方向实现校正磁场。 4 光阑 透射电镜有三种主要光阑：聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑。 (1).? 聚光镜光阑 作用：限制照明孔径角。在双聚光镜系统中，该光阑装在第二聚光镜下方。 光阑孔直径：20-400um，一般分析用时光阑孔直径用200-300um，作微束分析时，采用小孔径光阑。 * * 第二篇 电子显微分析 索红莉 第二讲 概论 电子光学基础 透射电镜工作原理及构造 电子衍射与复杂电子衍射花样 透射电镜样品制备 透射电镜基本成像操作及像衬度的一些应用 电子衍射及运动学理论及缺陷分析 扫描电子显微镜 电子探针X射线显微分析 扫描探针显微分析方法 第二篇 内容概要 ?透射电镜发展及概况 为什么要用TEM * * * ?电子光学基础 ?光学显微镜的分辨率极限 分辨率定义及光学显微镜的分辨率( ) * * * Airy斑点* * 瑞利(Rayleigh)准则* * ? 电子波的波长特性 加速电压与波长和电子穿透力的关系* * ? 电磁透镜 电磁透镜结构? * * 电磁透镜对电子的聚焦原理? * * * 电磁透镜光学性质? * * √ √ √ √ √ √ √ √ 复习第二篇第一章教学提纲和要点 电磁透镜的分辨率* * * 由衍射效应和像差(球差,像散,色差)来决定。 电磁透镜的景深和焦长* √ √ √ 上次课课堂测验题解答 √ α-Fe为立方系晶体，根据晶面间距公式： 根据布拉格方程： 得： α-Fe为立方系晶体，点阵常数a=0.2866nm，如用CrλKα=0.22909nm进行摄照，求(110)和(200)面的衍射布拉格角。 一 透射电子显微镜的结构与成像原理 是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数,可在材料，生物，医学，化工，冶金等多领域应用的电子光学仪器。 1. 工作原理 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 第二篇第二章 透射电子显微镜 HITACHI H-7500 * 图为日立公司H800透射电子显微镜(镜筒) 光学显微镜与透射电镜的比较 照相底板 照相底板 像的记录 较长 较短 焦长 较大 较小 景深 ＜10 约700 物镜孔径角 106× 103× 有效放大倍数 0.1~0.3nm 200nm 分辨本领 改变线圈电流或电压 移动透镜 聚焦方法 利用荧光屏 直接用眼 像的观察 高度真空 空气和玻璃 介质 电子透镜 玻璃透镜 放大成象系统 约100-200nm厚的薄膜 1mm厚的载玻片 样本 电子聚光镜 玻璃聚光镜 照明控制 电子源(电子枪) 可见光(日光、电灯光) 光源 透射电镜 光学显微镜 比较部分 2、构造 电子光学系统（镜筒）是其核心，它的光路图与透射光学显微镜相似，如图所示，包括： 照明系统 成像系统－ 物镜等 信号处理系统 3、电子光学系统 照明系统 镜筒 成 像 系 统 观察记录系统 电子