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小型氮分子激光器电路设计 　　摘?要 设计了小型氮分子激光器的电源，电路体积小、功率大、发热小、寿命长、容易制作，具有耐冲击、高效率的优点。氮分子激光器的供电电路由变压器、零电压开关驱动和高压包三部分组成。在核心的零电压开关上，我们设计的电路 　　可以产生高压拉弧效果，能给激光器提供高达约1.5万伏的高压，将氮分氮分子激发到高能级，从而激励出激光。 　　关键词 氮分子激光器；零电压开关；高压包；高压拉弧 　　中图分类号 TN248 文献标识码 A 文章编号 1673-9671-（2012）112-0180-02 　　氮分子激光器??是具有输出峰值功率高，输出激光波长处于紫外波段（337.1nm）等特点，它是一种重要的近紫外相干光源。它的应用也十分广泛，可以作为有机染料激光器的泵浦光源；分离同位素、荧光诊断、超高速摄影、污染检测以及医疗卫生、农业育种等方面。 　　氮分子激光器需要高达万伏级的电源实现激励出光。关于氮分子激光器电源制作这方面的文献很少。我们设计制作了氮分子激光器的供电电路，运用了变压器中的电压变换、软开关中的零电压开关、行输出变压器提高阳极电压，电源整体轻便小巧，能输出12 kV的高压。当大气压下的氮气流过激光腔，脉冲形成线外侧冲压的火化室内自触发火花隙放电时，激光器有稳定输出。本文主要介绍通过调整火花隙的距离和激光器输出能量，使得氮分子激光器处于最佳的放电电压。 　　1 氮分子激光器的工作原理 　　氮分子激光器的原理如图1所示：铝板和铝箔以环氧树脂板为电介质形成两个电容器，电源接通后，由于电感对直流为通路，电源同时对储能电容器和脉冲传输线充电，上面两块铝箔板均为高电位，下面铝箔为零电位，这时激光腔内两电极具有相同电位，不会产生气体放电。当达到一定高压时，火花隙击穿，该点电位突然降到零，与下面铝箔的零电位相等。零电位迅速向左传播，使激光腔内接脉冲传输线的电极也降到零电位。因为电感对瞬时电流为断路，而接储能电容器的电极仍处于高电位，此时两电极间形成的高电位差使气体放电，激励氮分子产生激光。经很短时间的放电后，两电极间的电压降到了击穿电压以下，放电停止，完成一个激光脉冲。 　　2 激光器高压电源的电路结构 　　图1 氮分子激光器的结构 　　氮分子激光器的电源主要分为三个部分（图2）：变压器、高压包和零电压开关驱动电路。变压器将220 V交流电源转成零电压开关驱动电路所需的12 V～36 V电压。变压器输出的电压通过两块IRFP250N驱动芯片双驱动来驱动高压包，从而使高压包两个输出端口产生12 KV～16 KV的高压，以此来击穿火花隙，产生一个激光脉冲。上下铝箔板的电压差的要求是万伏级的，制作起来有一定的难度。 　　3 变压器、高压包和零电压开关驱动电路 　　变压器利用电磁感应原理改变交流电压的装置，主要由初级线圈、次级线圈和铁心（磁芯）构成。我们的电路中利用了变压器的电压变化及稳压功能，将220 V电压变化成12 V～36 V电压。高压包是行输出变压器的俗称，功能是输出高压直流电。其原理是提高阳极电压，使电子束以更快的速度轰击出。高压包主要运用于电视机中，在电视机用来加速电子式屏幕达到足够亮度，也用在电脑液晶显示屏中，使屏幕达到足够亮度。我们设计的电路利用高压包给氮分子激光器供电。零电压开关电源[2]以硬开关模式工作，即开关过程中电压下降/上升和电流上升/下降波形有交叠，因而开关损耗大。高频化虽然可以缩小体积重量，但开关损耗却更大了。为此，必须研究开关电压/电流波形不交叠的技术，即所谓零电压开关（Zero Voltage Switch，简称ZVS）/零电流开关（ZCS）技术，或称软开关技术。零电压开关驱动电路如图3 　　所示。 　　图3 零电压开关驱动电路 　　4 火花隙的距离与放电电压的关系 　　断开电源之后，改变火花隙的放电距离L1，这样就能方便地控制火花隙的放电电压U（前提是控制气压不变，因为控制气压也能改变放电电压）。图4为火花隙在标准大气压（1.013×105Pa）下，火花隙放电电压与放电距离的实验值，如A点火花隙的距离L1=1.0 mm时，电源电压超过了6.5 kV，两铝电极会自动击穿氮气放电。 　　图4 放电电压与放电距离的关系 　　5 激光器输出能量与放电电压的关系 　　图5 激光器输出能量与放电电压的关系 　　激光腔放电电极的距离L2在0.8 mm～3.4 mm之间变化时，激光器都有激光输出。对不同的距离，激光器输出能量与放电电压的实验关系曲线如图5所示，其中U为放电电压，E为单脉冲能量的相对值。在放电电极距离L2较小时，放电电压最低可为4 kV，但是激光输出很弱，而且激光腔中放电不稳定。随着放电电极距离L2的增大，激光器的能量明显增加，且能量输出均匀稳定。放电电极对应一段距离，激光器的输出随放