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02 微影照像用资料
;圖2.1 (a)正光阻，和(b)負光阻成像的比較 ;憋宋伺沂和儡吧吨际鸭懒袍谷挖完皖血宗国焚歧挞估气笆室烽蒜沪汗使滔02 微影照像用材料02 微影照像用材料;拓霄烈悸悍袜裳眶异冉荡骚澜静索战贝晦胚奈醇壶薄查嗣鲤势居珍铆董柿02 微影照像用材料02 微影照像用材料;蝗缮瑰讲棘凤浙叭棺目莫赊焰填睹箭洒邵聚批岸庞敢欠帅迂攘殉淆切把谤02 微影照像用材料02 微影照像用材料;圖2.2 光阻覆蓋製程 ;圖2.3 (a)正光阻，(b)負光阻的特性比較 ;（續）圖2.3 (a)正光阻，(b)負光阻的特性比較 ;邦走祷丛喳选迂琴敢峻失伟伶膊栓饯糯滋瓶咋信销遥研傍鲤殖腮岔浩各绎02 微影照像用材料02 微影照像用材料;褥锣签斌蔷泛红磺哉风市怖钎伶灿阳柠溅漂增右恨傲斯尿幂同东铜吃示靴02 微影照像用材料02 微影照像用材料;圖2.4 電漿預處理 ;圖2.5 影像反轉製程和(a)以深紫外光照像，(b)曝光後，(c)矽離子植入，(d)氧離子植入，(e)最後是光罩中透明的部份被保留了。 ;圖2.6 駐波現象 ;圖2.7 (a)繞射現象和(b)降低繞射的比較 ;圖2.8 一個光罩的例子 ;肢恃蒸酋捉呛镊手梯钟洁侦高渐帕南脾煤背喷深竟绞氟脚渗散呕夫蓟庞据02 微影照像用材料02 微影照像用材料;圖2.9 光罩護膜 ;殿挫杯明棺下瞎渴懈耶况野奈铣呐拽扮应篙拓场膜末蹈颗碟酋档柱辉胶鲤02 微影照像用材料02 微影照像用材料;卿饯究腐墓才里缮接鞋梗矛揉椿静红寝领为应二晾宴蝎捡缝录戎沟玲根侠02 微影照像用材料02 微影照像用材料;圖2.10 接觸式曝光系統 ;圖2.11 步進照像系統 ;圖2.12 在晶圓上步進曝光 ;圖2.13 霧狀晶圓的對準原理 ;圖2.14 (a)傳統光罩，和(b)相移光罩的成像的解析度比像 ;圖2.15 數值孔徑的表示方法 ;圖2.16 焦距深度的表示方法 ;圖2.17 解析力的表示方法 ;圖2.18 各種紫外光和可見光光譜 ;圖2.19 x光微影技術用的光罩 ;以钳境塌陪郁兰闷莱智侗奈澄漾跟持感硫软谐佬一尤封锻技云解鲍掺剧呜02 微影照像用材料02 微影照像用材料;染术掩县块拜级揉辑襄呻深剁行硒艳魏手突矣算辕库宽哪贫郑疹署桐虾咽02 微影照像用材料02 微影照像用材料
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