超精密机床进给系统设计研究.docVIP

重庆大学 题目： 超精密及微机床的原理及设计方法， 学院： 专业： 学号： 姓名： 指导老师: 林超（教授） 2011-11-06 超精密及微机床的原理及设计方法， 摘要 随着科学技术的发展，各类微小型光机电元件日益增高的需求逐渐成为一种趋势，它们在国防军工、生命医学、航空航天和微电子等高技术领域中的应用越来越广泛。这些需求不仅要求微小型光机电元件尺寸小、表面精度高，而且形状特征大都较为特异。在这种趋势下，微细加工技术及超精密机床逐渐受到学术界和工程界的关注。微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一。论文介绍了一些典型微位移机构的结构、原理、特点和应用 ,并对这些机构进行了比较分析 ,最后介绍了应用实例。 关键词：微位移机构 机械传动 热变形 弹性变形 压电陶瓷 直线电机 Ultra-precision and micro-machine theory and design methods ultra-precision micro-machining of the model Abstract With the development of science and technology, the rising demand of kinds of small-sized optic-mechanical components gradually becomes a trend, they are used more widely in the high technology field of defence and military, life science, aerospace and microelectronics. These demands require small-sized optic-mechanical components not only have small size, high-precision surface, but more specific shape characteristic. Under this kind of trend, micro-fabrication technology is gradually concerned by academia and project circle. The micro-motion technique is one of key technique of precision machinery and instrument for hign accuracy .This paper introduction structure , principle and applications of some typical the micro-motion mechanisms. The comparisons among these are carried out. Application living example is also introduced Key word: micro-motion mechanism machinery transmission thermal deformation elastic deformation piezoelectric ceramic linear motor 目录 第一章 绪论 2 1-1 课题研究的意义 2 1-2 超精密技术机床发展的现状 2 1-3 超精密机床进给系统的重要性与微进给技术 3 第二章 微进给技术 4 2-1机械传动式微位移机构 4 2-1-1螺旋式和差动螺旋式微位移机构 4 2-1-2组合式机械传动式微位移机构 6 2-2机电传动式微位移机构 8 2-2-1 直线电机式微位移机构 8 2-2-2 磁致伸缩式微位移机构 9 2-2-3 电致伸缩式微位移机构 9 2-2-4 压电元件式微位移机构 10 2-2-5 电热变形式微位移机构 11 2-3 其他形式的微位移机构 11 2-3-1 柔性铰链式微位移机构 11 2-3-2 形状记忆合金式微位移机构 12 第三章 微进给机构的设计选择 13 3-1 现有微进给方法及其存在问题 13 3-2 微进给机构方案论证 13 第四章 结论与展望 15 4.1 结论 15 4.2 展望 15 参考文献 16 第一章 绪论 1-1 课题研究的意义 精密和超精密加工技术作为高科技领域中的基础技术，不论是在军用工业，还是在国民经济建设中部发挥着重要的作用，是尖端技术产品开发中不可缺少的关健手