超精密加工的动向与思考.docVIP

超精密加工的動向和思考 2007年 超精密加工經過數十年的努力，日趨成熟，不論是超精密機床、金剛石工具，還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密製造技術系統，為推動機械製造向更高層次發展奠定了基礎，現在正在向奈米級精度或毫微米精度邁進，其前景十分令人鼓舞。但是從另一個角度來分析，隨著科技的發展，對它的要求越來越高，而現實的情況又受到技術水準的制約，依然存在許多困難。 1 綜述 超精密加工技術是一門綜合性的系統工程，它的發展綜合地利用了機床、工具、計量、環境技術、微電子技術、電腦技術、數控技術等的進步。日本的津和秀夫教授形象地將超精密加工比作富士山的山頂，所以在某種意義上說，已到達了精密加工的頂峰。日本的文獻上，經常出現向極限靠近的提法。雖然從技術的角度來說，有些模糊，但是很形象化。實際上，加工精度在現有的水準上再提高一步已是相當困難。以現在的產品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越現有標準的，這從另一個側面反映了超精密的實際情況，相當多的要求，均以技術條件的形式來表示，或標明具體的特殊公差，而今天除了精度以外，對表面還提出了新的要求——表面完整性。日本谷口紀男教授往往將超精密加工技術與微細加工綜合在一起來加以介紹，客觀上反映了兩種技術的交叉，也體現了時代的特徵。本文想就超精密加工發展的趨勢，說明一些個人的看法。 超精密加工技術隨著時間的推延，精度、難度、複雜性等都在向更高層次發展，使加工技術也隨之需要不斷加以更新，來與之相適應。 以金剛石切削為例，其刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發展，因為它的大小直接影響到被加工表面的粗糙度，與光學鏡面的反射率直接有關，而今反射率要求越來越高，如鐳射陀螺反射鏡的反射率已提出了99.99%，必然要求金剛石刀具更加鋒利，根據日本大阪大學島田尚一博士介紹，為了進行切薄試驗，目標是達到切屑的厚度1nm，其刃口圓弧半徑趨近2～4nm。直至今日，這個水準仍為世界最高的。為了達到這個高度，促使金剛石研磨機也改變了傳統的結構，而採用了空氣軸承作為支承，研磨盤的端面跳動能在機床上自行修正，使其端面跳動控制在0.5μm以下，我國航空系統303所研製的刃磨機就是一例。刃口鋒利了，接著其檢測又成為一個難題，起先日本橫濱大學的中山一雄教授用金絲壓痕的方法；後來發展到採用掃描電子顯微鏡(SEM)，其測量精度可達到50nm；隨著精度的再提高，日本的刀尖評價委員會又在SEM上增加了二次電子的發射裝置，這時也只能測定到20～40nm；1993年，該小組再提出採用掃描隧道顯微鏡 (STM)或原子力顯微鏡(AFM)來進行檢測，但以後就未見報道。直到1996年，我國的華中理工大學發表了用AFM檢測的報導。1998年，哈工大又再次作了報導。用AFM成功地檢測了刃口圓弧半徑。檢測技術的突破，的進為微量切削機理一步探索創造了前提。 硬脆材料的加工一般均採用研磨等方法，後來日本足利大學的宮下政和教授發表了採用金剛石砂輪，控制切削深度和走刀量，在超精密磨床上，可以進行延性方式磨削，即使是玻璃的表面也可以獲得光學鏡面。這在技術上是一次很大的突破。接著，又發展到了直接採用大負前角度的金剛石車刀在上述的類似條件下，也可以獲得同樣的結果，但車削的效率則明顯的提高。今天又提出如果將超聲波技術與金剛石切削結合，更有利於發揮出功效。我國吉林工大等也作了這種嘗試，並取得成果。 砂輪採用金屬結合劑，一般指的是銅，而為了提高砂輪的壽命，日本東京工業大學的中川威雄教授採用了鑄鐵結合劑，使砂輪的壽命明顯提高，這是很大的突破，隨之，引起了各種結合劑的研究熱潮。後來日本理化學研究所的大森整就在這個基礎上，發展了砂輪的線上電解修整(ELID)技術，又使超精密加工技術的途徑得到了拓寬，在鏡面加工方面取得了進步。 金剛石技術的發展，近幾十年來，給了科技人員很大的激勵，從天然金剛石到人造金剛石，從超硬金剛石薄膜到厚膜的形成，逐漸為在超精密製造技術方面廣泛採用金剛石工具創造了美好的前景。為了金剛石應用領域的拓寬，為突破金剛石切削黑色金屬，一直在進行大量的實踐，如深冷切削、富碳大氣中的切削等，都先後取得一些效果，也有在金剛石的成份中摻入硼，使之與黑色金屬的親和力明顯改善。而今金剛石的刃磨已在探索其他的途徑，如熱化學研磨即為一例。 微量切削的機理一直是技術人員所關切的一個大問題，但是要直接對切削點觀察是異常困難的，現在有提議將切削裝置小型化，放置於SEM的鏡頭下進行切削並觀察；日本大阪大學井川直哉教授等開始採用電腦仿真，逐步在向揭開微量切削的奧秘迫近。 超精密機床的發展，已經相當成熟。它是最重要的硬體，它集大量成果於一體，如高精度主軸、微量進給裝置、高精度定位系統、氣浮導軌技術、熱穩定性技術、NC 系統等。特別是美國的LLNL實驗室、日本的不二越、東芝機械等