磁控溅射法制备cr-cr2o3干涉型太阳能选择吸收薄膜的研究-study on preparation of cr - cr2o3 interference solar selective absorption film by magnetron sputtering.docxVIP

中南民族大学硕士学位论文中南民族大学硕士学位论文磁控溅射法制备 磁控溅射法制备 Cr-Cr2O3 干涉型太阳选择吸收薄膜的研究IIIIII目录 HYPERLINK \l _bookmark0 摘要 I HYPERLINK \l _bookmark1 Abstract II HYPERLINK \l _bookmark2 第一章 概述 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1 太阳能的热利用 1 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2 太阳能光谱选择性吸收薄膜 2 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.1 选择性吸收薄膜的工作原理 2 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.2 选择性吸收薄膜的分类 3 HYPERLINK \l _bookmark7 1.2.3 选择性吸收薄膜的制备工艺 5 HYPERLINK \l _bookmark8 1.3 膜系设计和工艺选择 7 HYPERLINK \l _bookmark9 1.4 本课题的主要内容和研究意义 8 HYPERLINK \l _bookmark10 1.4.1 主要内容 8 HYPERLINK \l _bookmark11 1.4.2 研究意义 8 HYPERLINK \l _bookmark12 第二章 薄膜制备和检测 9 HYPERLINK \l _bookmark13 2.1 磁控溅射技术 9 HYPERLINK \l _bookmark14 2.1.1 溅射技术基础 9 HYPERLINK \l _bookmark15 2.1.2 磁控溅射工作原理 9 HYPERLINK \l _bookmark16 2.1.3 反应磁控溅射简介 10 HYPERLINK \l _bookmark17 2.2 薄膜制备 11 HYPERLINK \l _bookmark18 2.2.1 磁控溅射设备介绍 11 HYPERLINK \l _bookmark19 2.2.2 基底材料及预处理 12 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2.3 薄膜的制备工艺流程 12 HYPERLINK \l _bookmark21 2.3 薄膜检测手段 13 HYPERLINK \l _bookmark22 2.3.1 薄膜厚度的测量 13 HYPERLINK \l _bookmark23 2.3.2 薄膜反射率的测量 14 HYPERLINK \l _bookmark24 2.3.3 X 射线衍射分析 14 HYPERLINK \l _bookmark25 2.3.4 X 射线光电子能谱分析 15 HYPERLINK \l _bookmark26 第三章 单层 Cr-Cr2O3 金属陶瓷薄膜的性能研究 16 HYPERLINK \l _bookmark27 3.1 Cr2O3 薄膜 16 HYPERLINK \l _bookmark28 3.1.1 沉积 Cr-Cr2O3 薄膜的最优工艺参数 16 HYPERLINK \l _bookmark29 3.1.2 最优工艺条件下 Cr-Cr2O3 薄膜的性能分析 17 HYPERLINK \l _bookmark30 3.2 反应溅射工艺对薄膜物相成分的影响 18 HYPERLINK \l _bookmark31 3.2.1 溅射时间对 Cr-Cr2O3 薄膜物相成分的影响 18 HYPERLINK \l _bookmark32 3.2.2 氧气流量对 Cr-Cr2O3 薄膜物相成分的影响 19 HYPERLINK \l _bookmark33 3.2.3 溅射功率对 Cr-Cr2O3 薄膜物相成分的影响 21 HYPERLINK \l _bookmark34 3.3 反应溅射工艺对薄膜厚度的影响 23 HYPERLINK \l _bookmark35 3.3.1 溅射时间对薄膜 Cr-Cr2O3 厚度的影响 23 HYPERLINK \l _bookmark36 3.3.2 靶基距对薄膜 Cr-Cr2O3 厚度的影响 24 HYPERLINK \l _bookmark37 3.4 本章小结 25 HYPERLINK \l _bookmark38 第四章 双吸收层 Cr-Cr2O3 干涉型选择吸收薄膜特性研究 26 HYPERLINK \l _bookmark39 4.1 引言 26 HYPERLINK \l _bookmark40 4.2 双吸收层薄膜厚度对光学性能的影响 26 HYPERLINK \l _bookmark41 4.3 低金属含量层中金