过渡金属掺杂zno、sno2的微观结构和发光性能研究-study on microstructure and luminescent properties of transition metal doped zno and s no2.docxVIP

沈阳理工大沈阳理工大学硕士学位论文沈阳理工沈阳理工大学硕士学位论文摘 要本文采用球磨法制备 Zn1-xNixO、Zn1-xCoxO 及 Sn1-xTixO2 纳米粉体，并采用激 光脉冲沉积法，在单晶 Si 基底上制备 Zn1-xNixO 薄膜。采用 X 射线衍射（XRD）、 扫描电镜（SEM）、荧光光谱仪、分光光度计和振动样品磁强计（VSM）对其结构、 表面形貌、发光及磁性能进行表征，对不同掺杂比例及工艺条件制备的 ZnO 及 SnO2 纳米粉体和薄膜微观结构及发光特性进行了研究。1. 采用球磨法制备 Zn1-xCoxO（x=0.02、0.05、0.08、0.12、0.15）纳米粉体， 在 600°C 条件下退火 2 小时。发现 Zn1-xCoxO 纳米粉体呈六方纤锌矿结构。掺杂使 光致发光光谱中出现 396 nm 附近的紫外发光峰和 450 nm、470 nm 附近的蓝光发 光峰；在掺杂含量为 2at%、5at%和 8at%时，随着掺杂量的增加紫外吸收带边出现 红移现象。对于掺杂含量为 2at%~15at%的样品，其饱和磁化强度和矫顽力都随着 掺杂含量的增加而增大，当掺杂量高于 8at%之后，样品中饱和磁化强度的明显增 强，这主要是由于 Co3O4 出现所至。2. 采用激光脉冲沉积法制备了 Ni2+（0.8at%）掺杂的呈六角纤锌矿结构的 ZnO 薄膜。氧气气氛下制备的薄膜沿（0