硅基波导光栅耦合器件的研究-research on silicon-based waveguide grating coupling device.docxVIP

Study on waveguide grating coupler based on silicon substrateCandidate：Zhou WeiAdvisor：Yang JuncaiA dissertationSubmitted in partial fulfillment of the requirements for the degree of Master of Sciencein PhysicsGraduate School of National University of Defense Technology Changsha，Hunan，P.R.China（October，2011）国防国防科学技术大学研究生院硕士学位论文国防国防科学技术大学研究生院硕士学位论文第 第 I 页第 第 PAGE VI 页目 录摘 要 iABSTRACT iii第一章 绪论 11.1 硅基波导光栅耦合器件研究概述 11.1.1 波导光栅的起源和发展 11.1.2 波导光栅耦合器件的分类 21.1.3 波导光栅耦合器件的应用 41.1.4 波导光栅的研究意义 51.2 国内外研究现状 61.3 本文的主要工作 10第二章 硅基波导光栅器件的原理及计算方法 132.1 波导光栅器件设计的基本理论 132.1.1 波导光栅结构 132.1.2 布拉格条件 142.1.3 波矢图 152.2 严格耦合波解析方法 162.3 FDTD 数值方法[59] 192.4 本章小结 21第三章 硅基波导光栅耦合器件的特性分析 233.1 基本结构 233.2 波矢量分析 233.3 波导层厚度变化对耦合的影响 243.4 光栅周期变化对耦合的影响 273.5 光源入射角度变化对耦合的影响 293.6 光栅长度和 SiO2 层厚度变化对耦合的影响 303.7 本章小结 31第四章 硅基波导光栅耦合器件的设计 334.1 阶梯型波导光栅耦合器的设计及模拟 334.2 二元闪耀光栅耦合器的设计及模拟 354.2.1 等效介质膜理论 364.2.2 二元光栅占空比 384.2.3 二元闪耀光栅的设计及数值模拟 404.3 对称式全刻蚀啁啾型亚波长二元闪耀光栅分束器 454.4 本章小结 48第五章 硅基波导光栅耦合器件的制作流程、工艺及实验测试 495.1 硅基波导光栅耦合器件的制备流程 495.2 硅基波导光栅耦合器件的制备工艺简介 495.2.1 电子束光刻 505.2.2 感应耦合等离子体刻蚀 515.3 硅基波导光栅耦合器件的测试方法及实验结果 525.3.1 测试平台简介 525.3.2 测试操作过程 535.3.3 测试结果 585.4 本章小结 59结 束 语 60致 谢 62参考文献 63作者在学期间取得的学术成果 68国防科国防科学技术大学研究生院硕士学位论文国防国防科学技术大学研究生院硕士学位论文第 第 III 页第 第 PAGE IV 页表 目 录表 4.1 全刻蚀二元闪耀光栅耦合器耦合效率随光栅周期变化的关系 41第 第 V 页第 第 PAGE VI 页图 目 录图 1.1 不同类型光栅耦合器示意图 (a)表面浮雕光栅耦合器 (b)体光栅位于波导 层上方的耦合器 (c)体光栅位于波导层中的耦合器 3图 1.2 (a)深刻蚀大占空比光栅耦合器结构示意图 (b)耦合器的 SEM 照片 4图 1.3 (a)声敏元件原理示意图 (b)声敏器件实物图 5图 1.4 (a)双层二元闪耀光栅偏振分束耦合器结构示意图 (b)FDTD 方法计算结果 7图 1.5 (a)偏振分束器模拟结果 (b)增加布拉格反射层的偏振分束器效果图及其 SEM 照片 (c)非均匀光栅耦合器结构示意图 7图 1.6 (a)光栅耦合器结构示意图 (b)耦合器的 SEM 照片 8图 1.7 (a)T 型偏振依赖光栅耦合器结构示意图 (b)耦合器效率与波长的关系 8图 1.8 (a)光栅耦合器结构示意图 (b)耦合器的 SEM 照片 9图 1.9 全刻蚀光栅耦合器结构示意图 9图 1.10 (a)连续变迹光栅耦合器的结构示意图 (b)耦合器的 SEM 照片 (c)耦合器 的局部 SEM 照片 10图 2.1 典型光栅耦合器结构示意图 13图 2.2 光栅布拉格条件波矢图 16图 3.1 (a)入射光由光纤通过光栅耦合器垂直耦合进入亚波长波导的三维结构示意 图 (b)典型光栅耦合器简略结构示意图 23图 3.2 体现三种介质的 SOI 结构波矢图 24图 3.3 SOI 波导中零阶模和一阶模截止厚度与波长的关系 26图 3.4 当光栅周期满足