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[λ4]低温超导共面波导谐振器研究 　　摘 要： 讲述了一种高[Q]值的[λ4]吸收型超导共面波导谐振器的设计、制备及在低温超导状态下对其传输特性的测量分析。通过磁控溅射工艺在硅基底上沉积一层铌膜，再通过光刻工艺制备出谐振器样品。在100 mK的低温状态下，利用矢量网络分析仪测量其传输特性，并研究了温度对传输特性的影响。实验结果表明：该谐振器的[Q]值可达[105]量级，损耗在-15 dB左右；温度升高时，谐振频率增大，传输系数[S21，]相位[φ]也随之发生变化。 　　关键字： 共面波导； 低温超导； 品质因数； 传输特性 　　中图分类号： TN911.7?34 文献标识码： A 文章编号： 1004?373X（2014）13?0087?03 　　Study on λ/4 coplanar waveguide resonator in low?temperature superconducting state 　　ZHANG Bei?hong， ZHOU Pin?jia， WANG Yi?wen 　　（Quantum Optoelectronics Laboratory， Southwest Jiaotong University， Chengdu 610031， China） 　　Abstract： Design， fabrication and measurement in ultra?low temperature state of high?Q [λ4] absorption?type superconduc?ting coplanar waveguide （CPW） resonator is described. A layer of niobium film is deposited on the silicon substrate via magnetron sputtering technology， and then CPW resonator is made by photolithography. The transmission characteristics of the resonator is measured by the Agilent E5071C vector network analyzer （VNA） at 100 mK. The effect of the temperature on the transmission characteristics is studied. The experimental results show that the quality factor of this device is up to the order of [105]， the loss is about -15 dB； when the temperature increases， the resonance frequency becomes larger， the transmission coefficient [S21]and the phase[?] change with it at the same time. 　　Keywords： coplanar waveguide； low?temperature superconduction； quality factor； transmission characteristic 　　0 引 言 　　近年来，随着对微弱信号研究的不断深入，作为探测工具之一的共面波导（CPW）谐振器已经应用在许多领域，并展现出很大的优越性[1]。与其他探测器相比，CPW结构简单、易于集成、探测效率高，对微弱信号的变化更敏感，被广泛用于可见光、宇宙射线、核辐射等信号的探测；与此同时在参量放大、量子计算、量子信息处理、量子二能级系统的相关耦合等领域也发挥很重要的作用[2?3]。本文从[λ4]共面波导谐振器设计、样品制备、传输特性测量等方面进行论述，并研究了温度对传输系数、相位的影响。 　　1 设计分析 　　在微波工程设计中，为了避免反射，使更多的信息从输入端传送到输出端，阻抗匹配是必须考虑的一个问题。通常情况下传输线的特征阻抗[Z0]取为50[Ω]，对于共面波导传输线而言其特征阻抗可等效为[4]： 　　[Z0=30π1+εr2K（k′0）K（k0）] （1） 　　式中：[εr]是基底的介电常数；[Kk0]是第一类完全椭圆积分，[k0=s（s+2w），][s]是共面波导中心馈线的宽度，[w]是共面波导中心馈线与接地面之间的沟槽的宽度，[Kk′0]是第一类余完全椭圆积分，[k′0=1-k20。]谐振器的谐振频率是由谐振腔的长度和基底的介电常数决定的，