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PAGE PAGE II宋体四号索取号： 密级： 宋体四号黑体小一号加粗居中黑体小一号加粗居中博 士 学 位 论 文黑体黑体小一号加粗居中相位调制型激光自混合干涉测量微纳米技术的研究宋体宋体四号加粗研 究 生：ⅹⅹⅹ指导教师：ⅹⅹ 教授培养单位：物理科学与技术学院一级学科：电子科学与技术二级学科：物理电子学完成时间：2007年3月10日答辩时间：2007年5月25日博士学位论文物理电子学ⅹⅹ南京师范大学宋体四号，段前段后0行，行距28磅宋体四号，段前段后0行，行距28磅宋体二号加粗，段前段后0行，单倍行距本人郑重声明：所提交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果。本论文中除引文外，所有实验、数据和有关材料均是真实的。本论文中除引文和致谢的内容外，不包含其他人或其它机构已经发表或撰写过的研究成果。其他同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了声明并表示了谢意。学位论文作者签名： 日 期：学位论文使用授权声明研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属南京师范大学。学校有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以采用影印、复印等手段保存、汇编本学位论文。学校可以向国家有关机关或机构送交论文的电子和纸质文档，允许论文被查阅和借阅。（保密论文在解密后遵守此规定）保密论文注释：本学位论文属于保密论文，保密期限为 年。学位论文作者签名： 指导教师签名： 日 期： 日 期： 摘要宋体五号居中黑体三号加粗居中，单倍行距，段前段后1行摘 要宋体五号居中黑体三号加粗居中，单倍行距，段前段后1行激光自混合干涉是指激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔。反馈光携带了外部物体的信息，与腔内光相混合后，调制激光器的输出，形成自混合干涉。激光的自混合干涉来源于激光器的外部光反馈效应，以前人们总是设法消除光反馈的影响，后来逐渐的由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈效应检测物理量，从而形成了一门新的技术。为了提高自混合干涉的微位移测量精度，高精度的相位测量法被引入自混合干涉技术中，已见报道主要有两种方法：注入电流调制和外腔长度调制方法。……………………………………………………………………宋体小四号，行距20磅，段前段后0行宋体小四号，行距20磅，段前段后0行宋体小四号，行距20磅，段前段后0行宋体小四号宋体小四号，行距20磅，段前段后0行宋体小四号加粗，行距20磅，段前段后0行关键词：自混合干涉，相位调制，电光晶体……AbstractPAGE IIAbstractPAGE II[Document Title]When a portion of light emitted from a laser source is reflected or scattered back into the laser cavity by an external target, the reflected light will mix with the light inside the cavity, causing a modulation of the laser output power. This phenomenon is called as self-mixing interference (SMI) , in which the reflected light carries some information of the external target. The self-mixing interference comes from the optical feedback effect. People always tried to eliminate the optical feedback effect previously. Gradually people began to make use of it actively to measure some physical quantities, thus self-mixing interference technology was brought forth. [Document Title]In order to improve the displacement measurement accuracy of the self-mixing interfe