半导体材料（大学课件）张源涛-课件-第三章3.1.pdfVIP

第3章 晶体生长 第3章 晶体生长 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 制作半导体器件的材料，绝大部分使用单晶体 （体 单晶、薄膜单晶），研究晶体生长对半导体材料的 制备是一个重要课题。 20世纪20年代柯塞尔 （Kossel ）等人提出了完整晶 体生长微观理论模型。 40年代弗兰克 （Frank ）发展了缺陷晶体生长理论。 50年代后伯顿 （Burton ）和杰克逊 （Jackson ）等人 对晶体生长、界面的平衡结构理论及平衡界面理论 等方面进行了研究。 计算机技术的广泛应用，使晶体生长理论研究向微 观定量计算又进了一步。 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 第3章 晶体生长 第3章 晶体生长 3-1 、晶体生长理论基础 3-2 、熔体的晶体生长 3-3 、硅、锗单晶生长 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 晶体生长理论基础 晶体的形成方式： 晶体是在物相转变的情况下形成的。物相有三 种，即气相、液相和固相。 由气相、液相转变成固相可形成晶体，固相之 间也可以直接产生转变。 晶体生长方式分三大类： 固相生长 液相生长 （包括溶液生长和熔体生长） 气相生长 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 天然晶体的生长 ① 由固相变为固相： 同质多相转变，某种晶体在热力学条件改变的时候， 转变为另一种在新条件下稳定的晶体； 原矿物晶粒逐渐变大，如由细粒方解石组成的石灰岩 与岩浆接触时，受热再结晶成为由粗粒方解石组成的 大理岩。 细粒方解石 大理岩 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 天然晶体的生长 ② 由液相转变为固相： 从熔体中结晶, 即熔体过冷却时发生结晶现象，出现 晶体； 从溶液中结晶,即溶液达到过饱和时，析出晶体； 水分蒸发，如天然盐湖卤水蒸发，盐类矿物结晶出 来；通过化学反应生成难溶物质。 天然盐湖卤水蒸发 珍珠岩 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 天然晶体的生长 ③ 由气相转变为固相： 从气相转变为固相的条件是要有足够低的蒸 气压。在火山口附近常由火山喷气直接生成 硫、碘或氯化钠的晶体。雪花就是由于水蒸 气冷却直接结晶而成的晶体。 夏威夷火山 火山口生长的硫(S)晶体 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院 半导体材料 半导体材料的晶体生长 ① 固相生长：固- 固相转变。 石墨 —金刚石( 高温、高压) α-Fe(体心立方) —γ-Fe （面心立方） “ 图形外延” ： 激光照射下完成微晶硅向单晶硅 薄膜转变。 ②液相生长： （i ）溶液中生长；（ⅱ）熔体中生长。 GaAs液相外延为典型的