即时表徵影像及形貌量测的方法的研究.docVIP

工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象資格說明 序號 案名 1 HYPERLINK \l o1 即時表徵影像及形貌量測方法研究 2 HYPERLINK \l o2 AOI盲孔陰影區孔深檢測方法與系統之研究 3 HYPERLINK \l o3 表徵顯微及動態特性量測方法研究 4 HYPERLINK \l o4 液晶模組參數量測研究 5 HYPERLINK \l o5 薄膜蝕刻圖案多波長偏光影像對比分析模式研究 6 HYPERLINK \l o6 雷射共焦精微檢測與驗證技術 7 HYPERLINK \l o7 製作及測試Mirco-bolometers thermal detector 8 HYPERLINK \l o8 血壓臨床資料庫建立 9 HYPERLINK \l o9 陣列晶片等效折射率評估 10 HYPERLINK \l o10 基因晶片點印之螢光定量技術研究 11 HYPERLINK \l o11 顯示器品質主觀評價方法建立 12 HYPERLINK \l o12 影像品質評價影片研發與製作 13 HYPERLINK \l o13 低對比度二維影像處理技術研究 共13案，第1案 分包研究案名稱 即時表徵影像及形貌量測方法研究 分包研究經費 450仟元 主計畫名稱 (經費來源) 先進製造與系統關鍵技術發展四年計畫 分包研究 背景說明 成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？ 靜態與動態表面量測為表面量測之基礎，但由於無法即時的擷取到干涉圖形，使得受到環境所造成的誤差嚴重影響實驗的精確度，為了提高實驗的精確度，穩定度與效率，進而發展出即時相移干涉量測法。 干涉技術可解決高精密度、高解析度的問題，但所花費的時間需要更長，無法即時的表徵；而運用即時相位轉換干涉術可解決時間方面的問題，利用此優點來減少環境所造成的誤差，縮短實驗所需的時間，使得實驗結果之精確度提高。 分包研究 需求說明 結案驗收規格、功能、指定研究方法 利用基本的光學元件特性來達到產生相位差的效果，配合上兩個PBS與四台CCD，即可達到同時擷取四個不同相位的干涉圖形 文獻蒐集：蒐集與深入分析和即時表徵影像與形貌量測方法相關之國內外文獻。 理論分析：研讀即時表徵影像與形貌量測之相關理論架構與數學公式所代表的意義。 實驗雛型系統之建立：包含對光學系統架構之模擬、電腦控制與影像資料擷取、軟體運算之配合以及系統之整合與測試。 實驗程序與方法建立 即時相移量測方法之建立：光源之控制方法、光干涉強度與對比度之控制、向位分布修正、雜訊處理、系統誤差來源之分析與控制、量測系統之校正。進行實例量測以及結果分析與評估。 分包對象必須具備何種經驗、設備，或技術能力之要求 具架設白光干涉儀及解相軟體撰寫、多ccd影像同步處理，光路設計之經驗。具白光干涉儀等設備。 其他要求 徵求分包對象 學術研究單位 分包研究 預定期間 96年2月15日 至 96年11月30日 如需進一步了解 指定研究方法、規格，請與本中心李雅萍小姐聯絡，電話03 5743707 招標、決標、簽約、撥款作業，請與本中心金娟如小姐聯絡，電話03 5743816 共13案，第2案 分包研究案名稱 AOI盲孔陰影區孔深檢測方法與系統之研究 分包研究經費 400仟元 主計畫名稱 (經費來源) 自動光學顯微檢測設備技術關鍵計畫 分包研究 背景說明 成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？ 成果用於盲孔孔深檢測;運用大學之前瞻研究能力;可使用此技術克服AOI量測陰影問體 分包研究 需求說明 一、結案驗收規格、功能、指定研究方法 深度解析度：2μm 演算法與光機系統能克服陰影問題 對象必須具備何種經驗、設備，或技術能力之要求 國內大學或研究機構 徵求分包對象 學術研究單位或研究機構 分包研究 預定期間 96年2月1日 至 96年11月30日 如需進一步了解 指定研究方法、規格，請與本中心涂鐘範先生聯絡，電話03 5743880 招標、決標、簽約、撥款作業，請與本中心金娟如小姐聯絡，電話03 5743816 共13案，第3案 分包研究案名稱 表徵顯微及動態特性量測方法研究 分包研究經費 450仟元 主計畫名稱 (經費來源) 平面顯示器設備技術開發三年計劃(2/3) 分包研究 背景說明 成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？ 1. 成果將應用於干涉顯微儀的動態量測技術 2. 藉由與學術單位之合作，學習相關的技術能力，加速計劃執行 3. 為主計劃未來之發展方向 分包研究 需求說明 案驗收規格、功能、指定研究方