全光纤低频振动传感器关键技术分析-key technology analysis of all-fiber low frequency vibration sensor.docx

摘要低频振动测量技术在大型建筑物、机械设备、航空航天、地球活动等领域起着举足轻重的作用，而将主结构、传感器和控制器集于一体，形成具有自检测、自诊断、自适应以及自愈合等功能的“智能结构”是测量技术发展的主要趋势。光纤传感技术因其抗电磁干扰、易组网和可远距离测量等优点，已成为低频振动测量技术中最具潜力的传感技术之一，但是对于构成“智能结构”现有的光纤振动传感器还存在一些问题，比如体积大、可探测振动频率范围下限偏高、温度交叉敏感等。本文针对现有光纤振动传感器存在的问题，按照传感器的微型化、可探测振动频率的低频化和消除温度交叉敏感的的思路进行研究，分析了振动响应结构的理论模型，研究了振动响应结构的阻尼和谐振频率特性及其优化方法，在此基础之上，提出了三种不同类型的全光纤微型化低频振动传感器，并在传感器的设计、制作、优化和环境响应特性测试等方面做了比较系统的工作。论文的核心内容包括：①研究了惯性式低频振动传感器的振动模型及其阻尼和谐振频率对传感器的灵敏度和可探测频率范围的影响，分析了阻尼损耗的原因并给出了优化方法。分析表明基于微光纤的振动梁，由于其表面积体积比小，支座和振动梁一体化，退火后表面光滑，无塑性等特点，非常适合于加工小阻尼振动梁，实现高灵敏度的低频振动测量，因此，基于微光纤梁的低频振动传感器具有重要的学术研究意义和实际应用前景。②提出并设计制作了一种基于空心光纤(HollowCore