微波驱动超材料的电磁力矩研究-study on electromagnetic torque of metamaterial driven by microwave.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于保密□，在年解密后适用本授权书。不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日摘要随着微电子机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)朝着高频、小尺寸方向的发展，传统驱动组件的原理与方法已经不适用于MEMS的实际条件，牵涉到微波或射频的应用场合通常还要求无线馈及，这就给高频驱动提出了新的要求。而超材料做为一种人工电磁材料，其表现出的奇特的物理现象与良好的可调控性，使得超材料在微波驱动方面具有很好的应用潜力。本文着重研究了两种类型超材料的电磁力(矩)，即可应用于线性驱动系统的宽边耦合开口环超材料结构和可应用于旋转驱动系统的共轭十字形超材料结构。在宽边耦合开口环结构的研究中，计算了对应方向单面金属层的电磁力且均在谐振频点达到最大幅值，相比于平行金属板结构，其电磁力最大增幅为100倍；利用超材料的反演算法理论，分析结构的等效电磁参数，并从等效电路与电磁场的角度论述了两种工作模式的电磁力增强效应。对比整体结构，x、z方向双层金属在工作波段表现为排斥效应，合力几乎为0；而y方向双层金属则表现为叠加效应。研究了不同结构参数变化对单元电磁力的调控规律，结果表明较小的金属线宽与较高介电常数的介质基板，不仅可以较强的抑制x、z方向结构的净电磁力，还可以较大程度的增强y方向的叠加效应。在共轭十字形结构的研究中，分析了结构在1-10GHz频段两种模式对应的电磁力(矩)分布。在两种工作模式下，共轭十字形结构的能流主要集中于关于结构中心对称的两臂边缘，且能流方向相反，幅值相等。对比两种工作模式，研究表明电谐振的引入，z方向的电磁力矩可以得到有效增强。研究了不同结构参数(介质板厚度与金属间隙宽度)变化对单元电磁力矩的调控规律。结果表明，较大的金属间隙宽度和0.6mm左右厚度的介质板构成的共轭十字形结构，可以有效增大结构z方向的电磁力矩。关键词：超材料电磁力(矩)工作模式ABSTRACTWiththedevelopmentofmicro-eletro-mechanicalsystem(MEMS)towardingthedirectionofminiaturizationandhigh-frequency,thetheoryoftraditionaldirvescannotadapttothephysicalcondition，whichneedswirelesscommunicationatmicrowaveregion.Themetamaterial，whichdisplaysnovelphysicspropertiesandefficientadjustmentmethod，hasbecomeapropercandidateinmicro-drivensystem.Inthisthesis,wefocusontheelectromagneticforceandtorqueofbroadside-coupledsplitringresonatorsandgammadionmetamaterial,whichcanbeappliedinlinearandverticaldrivensystemrespectively.Intheresearchofbroadside-coupledsplitringresonators,itcalculatedthedifferentdirectionsofelectromagneticforceinthestructureandtheresultsindicatedthattheforceattheresonancefrequencywasobviouslystrongerineverydirectionofplates,whichcouldreach100timescomparedwithparallel-platemetalliccavity.Usingtheretrievalmethodandelectromagnetic