在MEMS加工中光刻胶应用_邹应全.pdfVIP

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2018-08-09 发布于浙江
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在MEMS加工中光刻胶应用_邹应全.pdf

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在MEMS加工中光刻胶的应用汇报人：邹应全教授（北京师范大学）报告提纲：（1）MEMS概述（2）MEMS工艺—光刻技术（3）光刻胶的选择（1）MEMS概述 MEMSMicro-Electro- Mechanical Systems(美国)微机电系统，也称为微机械（日本）或微系统（欧洲）。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源口、通信和电源等于一体的微型等于一体的微型器件或系统。（1）MEMS概述微型化：体积小、重量轻、耗能低、惯性小微观尺寸技术的演进以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传特点特点导率接近钼和钨导率接近钼和钨 MEMSMEMS 批量生产：降低生产成本集成化多学科交叉：涉及电子、机械、学科交叉材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科（1）MEMS概述优势技术利益：经济利益： MEMS尺寸 1.高精度； 1.大批量的并在毫米到 2.2.重量轻重量轻，，尺寸尺寸行制造过程；微米之间微米之间，，小； 2.系统级集成；甚至更小， 3.高效能。 3.封装集成；是独立的 4.与IC工艺兼智能系统容。（1）MEMS概述 MEMS发展史 90年代：喷墨打印头，硬 70年代：微机械压力传 80年代：硅静电微盘读写头、硅加速度计和感器马达数字微镜器件等相继规模化生产（1）MEMS