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MF-系列工业用 气体质量流量计 SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS 使用说明书 © 2010 Siargo Ltd. MF系列气体质量流量计 使用须知 1. 本产品仅适用于工业和商业环境范围内的气体测量、监测和控制。其他环 境内的使用应严格禁止。 2 . 本产品在清洁气体的环境中使用最佳；不适用于有大量粉尘、油污及多相 流的环境中；对于有大量水汽的环境，请事先与厂商联系。 3. 在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关的电器安全使用注意事项和 规程。 4 . 在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全 注意事项和规程。 5. 在使用本产品前请仔细阅读本说明书。 6. 如对本说明书有任何疑问，请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书 的客户服务部分。 7 . 矽翔微机电系统有限公司及其分公司、子公司、办事处及其它附属机构将 不为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。 注意事项 1. 本产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2 . 在具有爆炸性气体的环境中使用本产品时，产品应安装在具有上下游阀门 的管道中，并严防因其它气体的渗入带来的安全隐患。 3. 本产品带显示的表头可单方向旋转180度。安装时，应按旋转方向旋转，避 免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程进 行。 4 . 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂质 的操作将可能对产品带来损坏。 5. 在产品安装过程中，严禁实施在线电焊作业。 6. 本产品有一定的自重，安装和搬运应按操作规程进行，以免带来伤害。 1 www. Siargo . 矽翔MEMS流量产品系列 目录 使用需知 1 注意事项 1 目录 2 一、概述 3 二、产品分类形式及选型说明 3 三、产品结构 与工作原理 4 四、技术指标 5 五、安装说明 6 六、功能说明 8 七、检定 9 八、本安防爆 10 九、