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共72页-第*页 I-4 X4 M1M2 SPACER 改善 改善前：样品及规格 M1M2 SPACER 改善后样品及规格 以 5 um 为单位使用 图片 以3 um 为单位使用 改善措施;为了保证控制 的精度,将M1M2 Spacer 的变动规格由原来的5um 变为3um, 例：原来变动规格为： 430um,435um,440um… 现在为： 430um,433um,436um… 可以更好的保证调整的 精度。 D M A I C 共72页-第*页 I-5 DOE 计划 DOE设计目的：为了进一步优化M1M2 间距 Mean,并且减少Stand Deviation,通过设置温度和Width来进行DOE。 “-1” : 1210 “0” : 1225 “+1”: 1240 “-1”: 20.70 “0”: 20.80 “+1”: 20.90 因子 水平设置 响应 Y1: 间距 Mean Y2: 间距 Sigma 熔接温度 Width (幅度) 目标 Y1: 780±16 Y2: 目标为2, 最大不超过5, 越小越好. D M A I C 共72页-第*页 DOE方法： 应用22 Full Factorial Design ,为了判断Center Point是否显著,所以加了3个Center Point.该实验Replicate 2次, Repetition 3 次，3次的结果可以算出Sigma值和Mean值。 DOE目标: 该DOE需要使Mean达到目标值,使Sigma越小越好. StdOrder RunOrder CenterPt Blocks temp width 间距 STD 1 1 1 1 1210 20.7 762 2.73 2 2 1 1 1240 20.7 796 2.32 3 3 1 1 1210 20.9 756 3.12 4 4 1 1 1240 20.9 791 2.84 5 5 1 1 1210 20.7 762 2.65 6 6 1 1 1240 20.7 798 2.37 7 7 1 1 1210 20.9 756 3.21 8 8 1 1 1240 20.9 790 2.88 9 9 0 1 1225 20.8 788 1.19 10 10 0 1 1225 20.8 787 1.19 11 11 0 1 1225 20.8 788 1.17 Mean Sigma I-5 DOE 数据收集 D M A I C 共72页-第*页 结论： 实验在调查影响M1M2 间距的实验中发现: Temp, width 的Main Effect是显著的(因为P0.05, ,Interaction是不显著的(P0.05),中心点也是显著的(P0.05), 因此需要进行下一步实验,增加Star Point,再Response Optimizer I-5 DOE 分析 D M A I C 共72页-第*页 结论： 实验在调查影响M1M2 间距的实验中发现: Temp, width 的Main Effect是显著的,Interaction是不显著的,中心点也是显著的,因此需要进行下一步实验,增加Star Point,再Response Optimizer I-5 DOE 分析 D M A I C 共72页-第*页 结论： 实验在增加中心点后,调查影响M1M2 间距的实验中发现:Temp, width 的Main Effect是显著的,实验的二次方也是显著的(因为P0.05), R-sq(adj)=99.8%, Lack of Fit 的P Value0.05,模型是合适的.下一步再进行残差分析. I-5 DOE 分析-缩减模型 D M A I C 共72页-第*页 结论： 由残差分析,可以判断实验模型是合适的 I-5 DOE 分析-残差分析 D M A I C 共72页-第*页 I-5 DOE 分析-等值线图 D M A I C 共72页-第*页 结论： 为了达到实验目标,由Response Optimizer分析可知: 可将Temp设置在1222℃左右, 可将Width设置在20.87cm左右 Y1: 780±16 Y2: 目标为2, 最大不超过5, 越小越好. DOE Goal I-5 DOE 分析-优化参数 D M A I C 共72页-第*页 由图可知：当温度设置在1225±15℃时，Width设置在20.80±0.15时，能够同时满足间距和Std的需要，所以可以在继续验证此标准是否合适，并制定新的标准。 I-5 DOE 分析-参数公差设置 D M A I C 共72页-第*页 I-6: I阶段效果确认 通过各个阶段的持续改善，Y的现状如下：