微机械陀螺简述,微惯性技术.pptVIP

单位 结构特点 检测机理 灵敏度 噪声/漂移 北大 谐振式 电容检测 22mv/°/s 清华 角振动 电容检测 1.9mV/°/s / 复旦 双质量块 电容驱动 压阻检测 电桥输出0.22μV/°/s / 中科院 双质量块 电磁驱动 电容检测 9.8mV/°/s 中北大学 谐振式 电容检测 0.7mV/°/s 国内微机械陀螺的特点与性能指标 从国内外发展现状来看，微机械陀螺的特点总结如下： 1、机械结构：圆环、独立梁、框架、双质量块 2、驱动方式：电容驱动的多 3、检测方式：电容检测的多 4、使用的材料：都是Si基，灵敏度mV级 5、微机械陀螺应用 微机械陀螺目前精度在10-2°/h左右，还将进一步提高到10-3 °/h。随着先进的微电子技术的发展，预计微机械陀螺的价格将会在一美元到几百美元之间。其低廉的价格使其具有广阔的应用前景，有望在一些新的领域中得到应用，如车载导航系统、天文望远镜、工业机器人、计算机鼠标，甚至是玩具上。 智能手机中 汽车中 空中无线鼠标中 数码相机中 智能机器人中 应用举例 应用前景展望 在MEMS中还存在着大量具有挑战性的力、磁、电等问题需要研究, 对这些问题的有效解决则将会加快推动微机械陀螺仪技术的发展 1、应用比重增大 2、仍然面临挑战 过去几十年内，在汽车工业需求的推动下