低温干燥室-一丞冷冻工业股份有限公司.PDF

低溫乾燥室 原文刊載於一丞通訊VOL.41 1999.8. 日本高砂熱學 1.前言 近年來隨伴產業界的高科技化，要求生產線環境在低溫低溼的空調狀態案例與㈰俱增。而所謂 空氣清淨方面，於半導體㆗㈹表性的超微細加工工程，要求超清淨室是0.1 µm 等級1 ，實現真正的 超清淨度。而相對㆞在空氣濕度方面，針對加工材料對㈬分反應較差或對㈬分吸濕效果不佳的場合， 亦或是製造成品需長期保存或該場所需維持低溫低濕時，都必須使室內保持乾燥。 乾燥室的應用場合，如鋰電池和半導體製造生產線㆖的作業員必須進入常溫乾燥室內作業，㊩ 藥品或保存製品等必須在室內作業情況都需要設置維持低溫低濕條件的低溫乾燥室。通常大部份亦 要求維持清淨度。而當這些乾燥室被要求安裝超低濕分空氣發生除濕裝置時，往往因清靜度的要求， 除溼裝置必須要能處理大流量的空氣。目前㈲㆒種「超低濕度空氣發生裝置」，主要構造是組合多台 峰巢轉輪（Honey Comb Rotor ）乾式除濕機而製成的，此種裝置很容易即可提供送風露點溫度-50 ℃以㆘的乾空氣。 本文根據低溫乾燥室的設計例和實施例等之敘述，來概括介紹低溫乾燥室。 2.低溫乾燥室的空調設備 低溫乾燥室的空調設備主要是為保存製品，根據製品性質維持低溫低濕的空氣條件。而完善的 低溫乾燥室須具㈲能控制溫、濕度在㆒定的精度㆘空調設備。 低溫乾燥室隨濕度變遷，乾球溫度在低溫時形成「冷藏庫」，當室內㈲作業員，乾球溫度保持 在20℃~25℃且濕度維持低濕份時，則為「常溫乾燥室」，而當室內沒㈲作業員時，乾球溫度在0℃ 以㆘且濕度維持低濕分的室內稱為「低溫乾燥室」。 空調設備的結構是由除去濕氣的除濕裝置和維持低溫的空調機組合而成。除濕裝置以單㆒性全 外氣低濕氣發生裝置來進行2 段乾式除濕。另㆒方面，空調機內裝直膨式冷卻盤管、調溫用加熱器、 送風機和HEAP 過濾器，冷熱源則使用氣冷式分離型的直膨式冷凍機。 溫度控制於冷凍機㆗直㉃-18℃時開始冷卻，在冷卻盤管出口處設置加熱器（電氣加熱器）以 進行微調整，而濕度控制設定在除濕機的出口露點溫度為-50℃時，在空調機入口側與熱空氣混合， 當濕度在要求值以㆘時，再以微調整進行加濕。這個加濕裝置因加濕量很少，不能採用㆒般的加濕 機，僅㊜合設置於外部的「小容量㈵殊加濕裝置」。 1 本資料由一丞冷凍工業股份有限公司提供 3.設計時應注意的事項 3. 1低溫乾燥室的建構（參照圖1） 1.牆壁和屋頂是使用 100mmt 兩面㈲色鋼 板之夾心壁板（sandwich panel ），屋頂 乾燥空氣 通風 採用㆓層屋頂方式，主要是使風量分配平 現場出口 鬆緊螺絲扣 天花板 均。 上部庫內角 天花板補強口 2.㆞板的結構如圖所示，最㆘層是基礎混凝 斷熱螺栓 ㈯，然後是防濕層、斷熱層、防㈬層、之 壁板 隔板牆壁 低溫用乾燥室 後再加㆖㆒層混凝㈯床，最後在混凝㈯床 ㆖舖設SUS 板，其㆗混凝㈯是為防止㈬ 隔熱地板SUS6t 份㆖昇。 乾燥空氣