带空气轴承的PIglideAT3线性平台.PDFVIP

带空气轴承的PIglideAT3线性平台 高性能纳米级定位平台 A-123  扫描应用的完美选择或精密定位  无尘室兼容  运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米  行程50 毫米至750 毫米  分辨率达1纳米 产品概述 PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合 形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。 高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号 中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。 附件和可选配件  编码器  PIglide过滤器和空气预处理器  单轴和多轴运动控制器  XY装置和个性化配置  电缆轨道变型  用于垂直（Z）方向的配重选项  可提供定制版  花岗岩底座板和隔振系统 应用领域 PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。 由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。 16.08.2018 规格 运动 A-123.050 A-123.100 A-123.150 A-123.200 A-123.350 A-123.500 A-123.750 单位 公差 主动轴 X X X X X X X 行程 50 100 150 200 350 500 750 毫米 (1) 螺距/偏转角 5 10 15 15 20 25 35 微弧度 最大 ( 直线度/平面度 1) 1 1 1 1.5 2 2.5 3 微米 最大 每25毫米行程 的直线度/平面 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 微米 最大 (1) 度 速度， (2) 1 1 1 1 1 1 1 米/秒 最大 空载 加速度， 米/平 (2) 30 30 30 30