WC硬质合金涂层和CrAlN硬质涂层 摩擦行为的研究-原子与分子物理专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 A Thesis Submitted for the Degree of Master THE TRIBOLOGICAL PERFORMANCES OF WC HARD COATING AND CrAlN HARD COATING Candidate ：Li Zhonghao Supervisor Vice Supervisor ：Prof. Hu Jianmin ： Li Jinlong associate research fellow Speciality ：Atomic and Molecular Physics Date of Defence ：June, 2016 Degree-Conferring-Institution ：Harbin Normal University 目 目 录 万方数据 万方数据 目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 摘 要 I HYPERLINK \l _bookmark1 Abstract III HYPERLINK \l _bookmark2 第 1 章 绪 论 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1 研究背景 1 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2 硬质涂层研究进展 2 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.1 WC 研究现状 2 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.2 CrN 硬质涂层研究现状 12 HYPERLINK \l _bookmark7 1.5 本论文的主要研究内容 16 HYPERLINK \l _bookmark8 第 2 章 实验方法和分析手段 17 HYPERLINK \l _bookmark9 2.1 实验材料 17 HYPERLINK \l _bookmark10 2.1.1 WC 硬质合金/金属陶瓷涂层 17 HYPERLINK \l _bookmark11 2.1.2 CrAlN 硬质涂层 17 HYPERLINK \l _bookmark12 2.2 镀膜工艺和设备介绍 18 HYPERLINK \l _bookmark13 2.2.1 非平衡磁控溅射法 18 HYPERLINK \l _bookmark14 2.2.2 电弧离子镀 19 HYPERLINK \l _bookmark15 2.3 分析手段 20 HYPERLINK \l _bookmark16 2.3.1 扫描电子显微镜（SEM） 20 HYPERLINK \l _bookmark17 2.3.2 多功能 X 射线光电子能谱（XPS） 20 HYPERLINK \l _bookmark18 2.3.3 X 射线衍射仪（XRD） 21 HYPERLINK \l _bookmark19 2.3.4 Rtec 磨蚀试验机 21 HYPERLINK \l _bookmark20 第 3 章 WC 涂层微观结构及摩擦学行为 23 HYPERLINK \l _bookmark21 3.1 实验样品的扫描电镜图像 23 HYPERLINK \l _bookmark22 3.2 实验样品 XRD 分析 25 HYPERLINK \l _bookmark23 3.3 实验样品 XPS 分析 25 HYPERLINK \l _bookmark24 3.4 实验样品 TEM 分析 26 HYPERLINK \l _bookmark25 3.5 实验样品机械性能分析 27 HYPERLINK \l _bookmark26 3.6 摩擦学性能 29 HYPERLINK \l _bookmark27 3.7 本章小结 34 HYPERLINK \l _bookmark28 第 4 章 CrAlN 涂层的摩擦学行为 35 HYPERLINK \l _bookmark29 4.1 CrAlN 硬质涂层的形貌及结构 35 HYPERLINK \l _bookmark30 4.2 不同载荷条件下的摩擦学性能 37 HYPERLINK \l _bookmark31 4.3 不同配副条件下的摩擦学性能 37 HYPERLINK \l _bookmark32 4.4 本章小结 38 HYPERLINK \l _bookmark33 结论与展望 39 HYPERLINK \l _bookmark34 参考文献 40 HYPERLINK \l _bookmark36 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 42 HYPERLINK \l _bookmark37 哈尔滨师范大学学位论文原创性声明